高分子成形製品

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-165656
公開番号（公開出願番号）：特開2007-332271
出願日： 2006年06月15日
公開日（公表日）： 2007年12月27日
要約：

【課題】半導体ウエハ等を収納する容器等の材料である高分子材料の導電性を向上させ、容器の帯電防止や塵埃付着防止をはかること。【解決手段】高分子材料にカーボンナノチューブ等の導電性ナノチューブを含有させる。射出成形により作製する容器において、容器を構成する高分子材料は、ゲートと容器の端までの長さLと容器の代表厚みtとの比L/tが増加すると、あるいは、シート状製品の場合には、圧延・延伸前後のシート厚さの比t1/t0が減少すると、導電率が増加する傾向にある。特にL/t比が50以上、またはt1/t0比が0.7以下において、顕著である。この理由は、高分子材料のマトリックス中に導電性ナノチューブがその長手方向に配向するためである。本発明を用いて成形した半導体ウエハなどの容器は、帯電しないので塵埃付着などがなく、半導体の超微細加工プロセスに適用できる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

長手方向を有する導電性ナノチューブを含む高分子材料を用いた成形製品であって、高分子材料のマトリックス中において、前記導電性ナノチューブは、ゲート近傍を始点としてなめらかに連続した無数の流線が交差しないように前記流線により前記成形製品を覆ったときに、前記導電性ナノチューブの長手方向と前記導電性ナノチューブ近傍の流線とのなす角が45度以内で配向した配向層を有していることを特徴とする成形製品。

IPC (11件)：

C08J 5/18 , H01L 21/673 , B65D 1/00 , B65D 85/86 , B29C 55/02 , B29C 45/17 , B82B 1/00 , C08L 101/00 , C08K 3/00 , H01L 21/027 , G03F 1/14

FI (11件)：

C08J5/18 , H01L21/68 T , B65D1/00 A , B65D85/38 R , B29C55/02 , B29C45/17 , B82B1/00 , C08L101/00 , C08K3/00 , H01L21/30 503E , G03F1/14 M

Fターム (115件)：

2H095BE12 , 3E033AA09 , 3E033AA10 , 3E033BA13 , 3E033BA30 , 3E033BB01 , 3E033CA17 , 3E033FA02 , 3E033GA03 , 3E096BA15 , 3E096BB03 , 3E096CC01 , 3E096CC02 , 3E096DA30 , 3E096EA02 , 3E096FA03 , 3E096FA07 , 3E096FA20 , 3E096FA40 , 3E096GA01 , 4F071AA15 , 4F071AA20 , 4F071AA22 , 4F071AA26 , 4F071AA27 , 4F071AA45 , 4F071AA46 , 4F071AA50 , 4F071AA51 , 4F071AA53 , 4F071AB02 , 4F071AB03 , 4F071AD07 , 4F071AE15 , 4F071AF38 , 4F071AH12 , 4F071BA01 , 4F071BB03 , 4F071BB04 , 4F071BB06 , 4F071BB07 , 4F071BC01 , 4F071BC07 , 4F071BC12 , 4F206AB13 , 4F206AB18 , 4F206AB22 , 4F206AB25 , 4F206AB26 , 4F206AE03 , 4F206AG01 , 4F206AG06 , 4F206AG07 , 4F206AH55 , 4F206AH56 , 4F206AR12 , 4F206JA07 , 4F206JF01 , 4F206JF02 , 4F206JQ02 , 4F206JQ81 , 4F206JQ90 , 4F210AB13 , 4F210AB18 , 4F210AB22 , 4F210AB25 , 4F210AB26 , 4F210AE03 , 4F210AG01 , 4F210AG06 , 4F210AG07 , 4F210AH55 , 4F210AH56 , 4F210AR07 , 4F210AR12 , 4F210QA02 , 4F210QA03 , 4F210QA04 , 4F210QC01 , 4F210QC02 , 4F210QD25 , 4F210QG01 , 4F210QG18 , 4F210QL16 , 4F210QM03 , 4F210QM15 , 4F210QN01 , 4F210QN02 , 4F210QN21 , 4J002BB031 , 4J002BB121 , 4J002BC031 , 4J002BD151 , 4J002CF061 , 4J002CF071 , 4J002CF081 , 4J002CG011 , 4J002CH071 , 4J002CH091 , 4J002CK021 , 4J002DA016 , 4J002DA116 , 4J002FA096 , 4J002FD106 , 4J002FD116 , 4J002GG01 , 4J002GG02 , 4J002GQ00 , 5F031CA02 , 5F031CA07 , 5F031DA12 , 5F031EA02 , 5F031EA03 , 5F031PA21 , 5F046AA21

引用特許：

出願人引用 (1件)

基板収納容器及びその使用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-287426 出願人：信越ポリマー株式会社

審査官引用 (7件)

電磁波シールド部品
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-296358 出願人：油化電子株式会社
基板収納容器及びその使用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-287426 出願人：信越ポリマー株式会社
特開平2-057401

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