特許
J-GLOBAL ID：200903082952940327

基板収納容器及びその使用方法

発明者：
三村 博

三村 博 について

, 
益子 秀洋

益子 秀洋 について


出願人/特許権者：
信越ポリマー株式会社

信越ポリマー株式会社 について


代理人 (3件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-287426
公開番号（公開出願番号）：特開2006-100712
出願日： 2004年09月30日
公開日（公表日）： 2006年04月13日
要約：
【課題】 少数枚の基板の収納、保管、搬送に適し、効率的、経済的な基板収納容器及びその使用方法を提供する。【解決手段】 2枚の半導体ウェーハを上下に整列収納する容器本体1と、容器本体1の開口した前面を着脱自在に開閉する蓋体20と、蓋体開閉装置からの外部操作に基づき、容器本体1の前面を嵌合閉鎖する蓋体20を施錠・解錠する複数のロック機構40とを備える。そして、容器本体1を、樹脂にカーボンナノチューブを添加した成形材料により射出成形する。2枚という少数枚の半導体ウェーハの枚数に応じて基板収納容器を薄く低く構成したので、サイズ等が必要以上に大きくなることがない。したがって、効率や経済性を高めることができる。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
少数枚の基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部を開閉する着脱自在の蓋体と、容器本体の開口部を覆う蓋体を施錠するロック機構とを含んでなることを特徴とする基板収納容器。
IPC (5件)：
H01L 21/673 ,  B65D 25/20 ,  B65D 43/02 ,  B65D 55/14 ,  B65D 85/86
FI (5件)：
H01L21/68 T ,  B65D25/20 P ,  B65D43/02 B ,  B65D55/14 Z ,  B65D85/38 K
Fターム (59件)：
3E062AA01 ,  3E062AB10 ,  3E062AC02 ,  3E062DA02 ,  3E062DA05 ,  3E062DA08 ,  3E084AA05 ,  3E084AA14 ,  3E084AA24 ,  3E084AB10 ,  3E084BA01 ,  3E084CA03 ,  3E084EA10 ,  3E084EB03 ,  3E084FA09 ,  3E084FC11 ,  3E084GA08 ,  3E084GB12 ,  3E084GB19 ,  3E084GB26 ,  3E084HA03 ,  3E084HB04 ,  3E084HC03 ,  3E084HD01 ,  3E096AA01 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA05 ,  3E096DA09 ,  3E096DA13 ,  3E096DA18 ,  3E096DA23 ,  3E096DA30 ,  3E096DB01 ,  3E096DC01 ,  3E096EA02X ,  3E096EA20X ,  3E096FA03 ,  3E096FA07 ,  3E096FA12 ,  3E096GA01 ,  3E096GA07 ,  3E096GA11 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031DA08 ,  5F031EA02 ,  5F031EA03 ,  5F031EA06 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031EA16 ,  5F031EA20 ,  5F031PA18 ,  5F031PA23
引用特許：
出願人引用 (15件)
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審査官引用 (9件)
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