特許
J-GLOBAL ID：200903065056726012

荷電粒子ビーム制御装置及びそれを用いた荷電粒子ビーム光学装置、ならびに荷電粒子ビーム欠陥検査装置

発明者：
高木 徹

高木 徹 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について

, 
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-205011
公開番号（公開出願番号）：特開2003-022772
出願日： 2001年07月05日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：
【要約】【課題】 極子の温度上昇を抑えることのできる荷電粒子ビーム制御装置及びそれを用いた荷電粒子ビーム光学装置、ならびに荷電粒子ビーム欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 内部を荷電粒子が通過する真空チェンバー11を備えたウィーンフィルタAにおいて、真空チェンバー11を貫通させて設けられた極子本体12a,13a,14a,15aと、真空チェンバー11の外側で極子本体12a,13a,14a,15aに設けられた励磁コイル12b,13b,14b,15bから極子12,13,14,15を構成し、荷電粒子の軌道側と励磁コイル12b,13b,14b,15bの間に、絶縁部12e,13e,14e,15eを介設した。
請求項（抜粋）：
内部を荷電粒子が通過する真空容器と、前記荷電粒子の軌道上に電場と磁場との両方を生成できる極子とを備えている荷電粒子ビーム制御装置であって、前記極子は、前記真空容器を貫通させて設けられた極子本体と、前記真空容器の外側でこの極子本体に設けられた励磁コイルとを備えていることを特徴とする荷電粒子ビーム制御装置。
IPC (5件)：
H01J 37/147 ,  G21K 1/08 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/05 ,  H01J 37/29
FI (5件)：
H01J 37/147 B ,  G21K 1/08 ,  G21K 5/04 M ,  H01J 37/05 ,  H01J 37/29
Fターム (2件)：
5C033AA02 ,  5C033AA05
引用特許：
審査官引用 (12件)
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