透明性樹脂、感光性組成物、およびパターン形成方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-272534
公開番号（公開出願番号）：特開平10-171120
出願日： 1997年10月06日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】短波長光に対する透明性が優れるとともに高いドライエッチング耐性を備え、かつコントラストが高く露光後のアルカリ溶解性にも優れ、解像性の良好なレジストパターンを形成し得る感光性組成物を提供する。【解決手段】脂環式骨格および共役多縮合芳香族骨格の少なくとも一方を主鎖に有し、かつ主鎖が酸で分解または加水分解し得るオリゴマーと、光酸発生剤とを含有する感光性組成物である。

請求項（抜粋）：

脂環式骨格および共役多縮合芳香族骨格の少なくとも一方を主鎖に有しかつ主鎖が酸で分解または加水分解し得るオリゴマーと、光酸発生剤とを含有する感光性組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/038 504 , C08G 18/34 , C08G 63/12 , C08G 69/26 , C08L 67/00 , C08L 77/06 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (8件)：

G03F 7/038 504 , C08G 18/34 Z , C08G 63/12 , C08G 69/26 , C08L 67/00 , C08L 77/06 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

出願人引用 (4件)

珪素含有高分子化合物及びそれを用いたレジスト材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-203126 出願人：日本電気株式会社
感光性組成物及びパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-153045 出願人：ソニー株式会社
特開昭53-133429

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審査官引用 (4件)

珪素含有高分子化合物及びそれを用いたレジスト材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-203126 出願人：日本電気株式会社
感光性組成物及びパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-153045 出願人：ソニー株式会社
特開昭53-133429

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