特許

J-GLOBAL ID：200903065081705151

アクティブマトリクス基板

発明者： 村井 淳人 ,  山川 真弥 ,  岡田 美広 ,  伴 厚志 ,  原 猛
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 小池 隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-315754
公開番号（公開出願番号）：特開2000-147550
出願日： 1998年11月06日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】 表示品位に優れ、信頼性が高く、製造が容易であるアクティブマトリクス基板を提供する。【解決手段】 ソース電極及びドレイン電極の少なくともどちらが一方が、アルミニウム系金属層と、該アルミニウム系金属層の下部に形成される窒化モリブデンからなるバリアメタル層と、前記アルミニウム系金属層の上部に形成されるモリブデン又は窒化モリブデンからなるキャップメタル層との積層構造とするとで、同一エッチャントで同時にテーパエッチングすることができ、窒素流量によっては電極の断面形状を順テーパ状とすることにより、表示品位が優れ、信頼性が高く、製造が容易なアクティブマトリクス基板を提供する。

請求項（抜粋）：

絶縁性領域と、該絶縁性領域上に形成されたソース電極及びドレイン電極とを備え、該ソース電極及びドレイン電極の少なくともどちらか一方が、アルミニウム系金属層と、該アルミニウム系金属層の下部に形成される窒化モリブデンからなるバリアメタル層と、前記アルミニウム系金属層の上部に形成されるモリブデンからなるキャップメタル層との積層構造であることを特徴とするアクティブマトリクス基板。

IPC (2件)：

G02F 1/136 500 ,  G09F 9/30 338

FI (2件)：

G02F 1/136 500 ,  G09F 9/30 338

Fターム (32件)：

2H092GA17 ,  2H092GA34 ,  2H092HA06 ,  2H092JA41 ,  2H092JA46 ,  2H092KA05 ,  2H092KB25 ,  2H092MA05 ,  2H092MA18 ,  2H092NA18 ,  2H092NA22 ,  2H092NA27 ,  2H092NA28 ,  2H092PA01 ,  5C094AA04 ,  5C094AA13 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FA03 ,  5C094FB02 ,  5C094FB03 ,  5C094FB12 ,  5C094GB10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 薄膜トランジスタ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-309614   出願人：シャープ株式会社
• 特開平4-253342
  
• 薄膜トランジスタ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-286592   出願人：松下電器産業株式会社