特許
J-GLOBAL ID：200903065148604282
化学線感応性重合体組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-267023
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120923
出願日： 1993年10月26日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【構成】ポリアミド酸と、一般式[II](R4 -X-(CH2 )l )m -E [II](R4 は炭素数1〜6のアルキル基、Xは-COO-、-CONH-、-CO-、-O-、-SO-、-S-、-SO2 -または-CH2 -,Eはアルキルアミノ基、ジアルキルアミノ基、ピリジル基またはキノリル基を表す。lは1〜10の整数、mは1〜7の整数である。)で表される化合物とを含有することを特徴とする化学線感応性重合体組成物。【効果】本発明は上述のごとく構成したもので、炭素-炭素2重結合を含まない感光剤の使用によっても、ポリイミド前駆体に感光性を付与することができる。しかも、保存安定性のよいポリイミド前駆体組成物を得ることができる。
請求項（抜粋）：
一般式[I]【化1】(R1 は、少なくとも2個の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は、少なくとも2個の炭素原子を有する2価の有機基、R3 は、水素、アルカリ金属イオンまたはアンモニウムイオンを表す。nは1または2である。)で表される構造単位を有するポリアミド酸と、一般式[II](R4 -X-(CH2 )l )m -E [II](R4 は炭素数1〜6のアルキル基、Xは-COO-、-CONH-、-CO-、-O-、-SO-、-S-、-SO2 -または-CH2 -,Eはアルキルアミノ基、ジアルキルアミノ基、ピリジル基またはキノリル基を表す。lは1〜10の整数、mは1〜7の整数である。)で表される化合物とを含有することを特徴とする化学線感応性重合体組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/038 504
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
, H01L 21/312
, H05K 3/28
