特許
J-GLOBAL ID:200903065194584520
半導体レーザ加工装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石原 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-346742
公開番号(公開出願番号):特開2002-148562
出願日: 2000年11月14日
公開日(公表日): 2002年05月22日
要約:
【要約】【課題】 多数のレーザダイオードをバー状に配設したLDアレイを有する平板状レーザユニットを複数用いて高輝度のレーザ光を得る。【解決手段】 多数のレーザダイオード素子をスロウアクシス方向にバー状に配設したLDアレイ2を有する平板状LDユニット1を複数積み重ね配置したLDユニットスタック3a、3bを設け、LDユニットスタック3a、3bの前部に平板状LDユニット1から出射したレーザビームのファストアクシス方向の幅を平板状LDユニットの厚さ以下、スロウアクシス方向の幅をLDアレイ長と同等にするコリメータレンズ4、5を配設し、これらコリメータレンズ4、5から出射したレーザビームをSLOW方向に半分の幅にするλ/2波長板12と偏向ビームスプリッタ13から成るPBS加算器14を設けた。
請求項(抜粋):
レーザダイオード素子をスロウアクシス方向にバー状に設けたLDアレイを有する平板状LDユニットと、この平板状LDユニットを積み重ねて設けたLDユニットスタックと、各平板状LDユニットから出射したレーザビームのファストアクシス方向の幅を平板状LDユニットの厚さ以下、スロウアクシス方向の幅をLDアレイ長と同等にするようにLDユニットスタックの前部に設けたコリメータレンズと、このコリメータレンズから出射したレーザビームをスロウアクシス方向に半分の幅にするPBS加算器とを設けたことを特徴とする半導体レーザ加工装置。
IPC (5件):
G02B 27/28
, B23K 26/00
, B23K 26/06
, G02B 6/42
, H01S 5/40
FI (5件):
G02B 27/28 Z
, B23K 26/00 Z
, B23K 26/06 Z
, G02B 6/42
, H01S 5/40
Fターム (26件):
2H037AA04
, 2H037BA03
, 2H037BA05
, 2H037BA06
, 2H037CA11
, 2H037CA17
, 2H037CA21
, 2H037CA39
, 2H099AA17
, 2H099BA17
, 2H099CA06
, 2H099CA08
, 4E068CA02
, 4E068CD08
, 4E068CD09
, 4E068CD13
, 4E068CE08
, 4E068CK01
, 5F073AB27
, 5F073AB28
, 5F073AB29
, 5F073BA09
, 5F073EA15
, 5F073EA22
, 5F073EA24
, 5F073FA26
引用特許:
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