特許
J-GLOBAL ID:200903065194584520

半導体レーザ加工装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石原 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-346742
公開番号(公開出願番号):特開2002-148562
出願日: 2000年11月14日
公開日(公表日): 2002年05月22日
要約:
【要約】【課題】 多数のレーザダイオードをバー状に配設したLDアレイを有する平板状レーザユニットを複数用いて高輝度のレーザ光を得る。【解決手段】 多数のレーザダイオード素子をスロウアクシス方向にバー状に配設したLDアレイ2を有する平板状LDユニット1を複数積み重ね配置したLDユニットスタック3a、3bを設け、LDユニットスタック3a、3bの前部に平板状LDユニット1から出射したレーザビームのファストアクシス方向の幅を平板状LDユニットの厚さ以下、スロウアクシス方向の幅をLDアレイ長と同等にするコリメータレンズ4、5を配設し、これらコリメータレンズ4、5から出射したレーザビームをSLOW方向に半分の幅にするλ/2波長板12と偏向ビームスプリッタ13から成るPBS加算器14を設けた。
請求項(抜粋):
レーザダイオード素子をスロウアクシス方向にバー状に設けたLDアレイを有する平板状LDユニットと、この平板状LDユニットを積み重ねて設けたLDユニットスタックと、各平板状LDユニットから出射したレーザビームのファストアクシス方向の幅を平板状LDユニットの厚さ以下、スロウアクシス方向の幅をLDアレイ長と同等にするようにLDユニットスタックの前部に設けたコリメータレンズと、このコリメータレンズから出射したレーザビームをスロウアクシス方向に半分の幅にするPBS加算器とを設けたことを特徴とする半導体レーザ加工装置。
IPC (5件):
G02B 27/28 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/06 ,  G02B 6/42 ,  H01S 5/40
FI (5件):
G02B 27/28 Z ,  B23K 26/00 Z ,  B23K 26/06 Z ,  G02B 6/42 ,  H01S 5/40
Fターム (26件):
2H037AA04 ,  2H037BA03 ,  2H037BA05 ,  2H037BA06 ,  2H037CA11 ,  2H037CA17 ,  2H037CA21 ,  2H037CA39 ,  2H099AA17 ,  2H099BA17 ,  2H099CA06 ,  2H099CA08 ,  4E068CA02 ,  4E068CD08 ,  4E068CD09 ,  4E068CD13 ,  4E068CE08 ,  4E068CK01 ,  5F073AB27 ,  5F073AB28 ,  5F073AB29 ,  5F073BA09 ,  5F073EA15 ,  5F073EA22 ,  5F073EA24 ,  5F073FA26
引用特許:
審査官引用 (6件)
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