特許
J-GLOBAL ID:200903065245616520

微粒子分級装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 井上 満
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-143388
公開番号(公開出願番号):特開2007-315817
出願日: 2006年05月23日
公開日(公表日): 2007年12月06日
要約:
【課題】 単一の装置で、複数の異なる粒径の微粒子を同時に分級することが可能な微粒子分級装置を小型に製造可能とする。【解決手段】 中心電極部10が、外部電極部20の内周円と同心円上の所定幅の外周側面を有する第1の中心電極部10a及び第2の中心電極部10bを有しているとともに、粒径選別空間Sを各中心電極部10a、中心電極部10bごとに仕切る遮蔽プレート10cを有し、各中心電極部10a、10bごとに、特定微粒子導出スリット部11(11a、11b)及び特定微粒子導出路12(12a、12b)からなる微粒子導出部が形成されており、各特定微粒子導出スリット部11a、11b間で形成位置を高さ方向で相互に相違させている。また、各中心電極部10a、10bがそれぞれ曲率半径の異なる外周側面を有している。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
内周側面が円筒状に形成された包囲形状の外部電極部と、 前記外部電極部の内周側面と同心に配置された中心電極部と、 前記中心電極部の外周側面と前記外部電極部の内周側面との間に形成される粒径選別空間とを備え、 前記粒径選別空間の上方位置に形成された微粒子導入スリットを介して、装置外部から多数の帯電微粒子が前記粒径選別空間に導入されるとともに、前記微粒子導入スリットの上方位置に形成されたシースガス供給部を介して、装置外部から前記粒径選別空間に導入された帯電微粒子を下方向に移動させるようシースガスが前記粒径選別空間に供給され、前記中心電極部と前記外部電極部との間に、前記粒径選別空間に導入された帯電微粒子を前記内周側面から前記外周側面側へ移動させるよう所定電圧が印加された場合に、前記粒径選別空間に導入された前記帯電微粒子の中から特定の粒径を有する帯電微粒子を、前記外周側面に形成された微粒子導出スリットにおいて捕捉する微粒子分級装置であって、 前記中心電極部が、上下面が扇形形状である部分円柱形状の複数の粒径別中心電極部と、前記粒径選別空間を前記各粒径別中心電極部ごとの複数の粒径別選別空間に区画する遮蔽部材とを有しており、 前記粒径別中心電極部のそれぞれに、前記微粒子導出スリットが個別に形成されていることを特徴とする微粒子分級装置。
IPC (4件):
G01N 15/02 ,  G01N 27/60 ,  B03C 7/02 ,  G01N 15/06
FI (4件):
G01N15/02 F ,  G01N27/60 C ,  B03C7/02 Z ,  G01N15/06 D
Fターム (4件):
2G041BA02 ,  2G041BA18 ,  4D054GA02 ,  4D054GB10
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 微粒子分析装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2004-025586   出願人:ワイコフ科学株式会社

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