特許
J-GLOBAL ID:200903097572732672
微粒子分析装置
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
吉武 賢次
, 永井 浩之
, 岡田 淳平
, 勝沼 宏仁
, 鈴木 清弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-025586
公開番号(公開出願番号):特開2005-214931
出願日: 2004年02月02日
公開日(公表日): 2005年08月11日
要約:
【課題】気相中に浮遊するナノメータ・サイズからサブミクロンメータ・サイズまでの幅広い分布を有する微粒子の粒径分布及び特定の粒径サイズの微粒子についての個数濃度の経時変化を2種類の粒径範囲に分けて同時にかつリアルタイムに測定することができる微粒子分析装置を提供する。【解決手段】微分型電気移動度測定器1において、コモン電極部4と中心電極部5との間に第1測定領域2が形成され、コモン電極部4と導電性スリーブ20との間に第2測定領域3が形成されている。帯電微粒子がサンプルガス導入管26を経由してサンプルガス導入孔27に取り込まれ、その一部はサンプルガス導入スリット10を介して第1測定領域2へ取り込まれ、残りは、サンプルガス導入流路31から第2測定領域3に取り込まれる。取り込まれた帯電微粒子はそれぞれの測定条件の下で分級される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
気相中に浮遊する微粒子を分析する微粒子分析装置において、
外部から気密に保たれた筐体と、
前記筐体内に配置された中心電極部と、
前記筐体内にて前記中心電極部を取り囲むように当該中心電極部と同心軸上に配置され、前記中心電極部との間に第1測定領域を形成するコモン電極部と、
前記筐体内にて前記コモン電極部を取り囲むように当該コモン電極部と同心軸上に配置され、前記コモン電極部との間に第2測定領域を形成する外側電極部と、
前記コモン電極部に近接した位置から前記第1測定領域及び前記第2測定領域へ向けて帯電微粒子を導入する微粒子導入部と、
前記微粒子導入部により導入された帯電微粒子を前記第1測定領域内及び前記第2測定領域内にて一定の方向へ移動させるように前記筐体内にシースガスを導入するシースガス導入部と、
前記コモン電極部を基準にして前記コモン電極部と前記中心電極部との間及び前記コモン電極部と前記外側電極部との間に電圧を印加する電源とを備え、
前記中心電極部及び前記外側電極部にはそれぞれ、前記第1測定領域内及び前記第2測定領域内を所定の距離だけ移動した帯電微粒子を外部へ取り出すための第1導出スリット及び第2導出スリットが形成され、
前記電源により前記コモン電極部と前記中心電極部との間に電位差を生じさせた状態で、前記コモン電極部に近接した位置からシースガスと共に導入される帯電微粒子を前記第1測定領域内にて前記コモン電極部側から前記中心電極部側へ移動させると共に、前記電源により前記コモン電極部と前記外側電極部との間に電位差を生じさせた状態で、前記コモン電極部に近接した位置からシースガスと共に導入される帯電微粒子を前記第2測定領域内にて前記コモン電極部側から前記外側電極部側へ移動させ、前記中心電極部及び前記外側電極部にそれぞれ形成された前記第1導出スリット及び前記第2導出スリットから特定の粒径サイズの帯電微粒子を外部へ取り出すことを特徴とする微粒子分析装置。
IPC (3件):
G01N15/02
, B03C7/02
, G01N27/60
FI (4件):
G01N15/02 D
, G01N15/02 F
, B03C7/02 Z
, G01N27/60 C
Fターム (5件):
4D054AA20
, 4D054BC06
, 4D054CA18
, 4D054EA09
, 4D054EA30
引用特許: