特許
J-GLOBAL ID：200903065247017704
曲面性状検査装置の照明装置
出願人/特許権者：
オムロン株式会社
オムロン株式会社 について
代理人 (1件)： 青木 輝夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-096697
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296198
出願日： 2001年03月29日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：
【要約】【課題】 照明装置を小型化すると、検査精度向上に必要な低い照射角度を確保することができない。【解決手段】 搬入した実装基板110の表面上に所定クリアランスHをもって配置され、実装基板110表面への各色相光の照射角度が異なるように、複数の色相光を照射する主照明部11と、実装基板110表面上に照射した各色相光の反射光を色相光別に撮像するカラーカメラ12と、一つの色相光を、主照明部11による実装基板110表面への照射角度よりも低い照射角度で、実装基板110の側面方向から照射する補償用照明部13とを有している。
請求項（抜粋）：
被検査対象物の表面に、この表面への照射角度を異ならせて複数の色相光を照射する照明手段と、前記被検査対象物の表面上に照射された各色相光の反射光を色相光別に撮像する撮像手段とを有して、前記撮像手段で得られた色相光別の撮像パターンから前記被検査対象物の曲面の傾斜角度を検出する曲面性状検査装置の照明装置であって、前記照明手段が、照射する複数の色相光のうち、一つの色相光を、前記照明手段による前記被検査対象物の表面への照射角度よりも低い照射角度で、前記被検査対象物の側面方向から前記被検査対象物の表面に照射する補償用照明手段を有することを特徴とする曲面性状検査装置の照明装置。
IPC (3件)：
FI (3件)：
Fターム (23件)：
2F065AA36
, 2F065BB05
, 2F065CC26
, 2F065FF04
, 2F065GG07
, 2F065GG12
, 2F065GG23
, 2F065HH02
, 2F065HH18
, 2F065JJ03
, 2F065JJ19
, 2F065MM13
, 2F065NN01
, 2F065QQ31
, 2F065RR06
, 2F065UU01
, 2G051AA65
, 2G051AB14
, 2G051BA01
, 2G051BB17
, 2G051BC01
, 2G051CA04
, 2G051EA17
引用特許：
出願人引用 (4件)
-
照明装置
公報種別：公開公報 出願番号：特願平10-108443 出願人：オムロン株式会社 -
形状測定方法及び装置
公報種別：公開公報 出願番号：特願平4-173562 出願人：株式会社東芝 -
特開昭61-293657
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