特許
J-GLOBAL ID：200903065249722634
分析装置の試料ステージ駆動装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-263565
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124510
出願日： 1994年10月27日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】 試料の元素分析などを行う分析装置用として、試料を微少に移動させることが容易な試料ステージ駆動装置を提供する。【構成】 トラックボール2からのパルスを制御手段4を介して分析装置の試料ステージ7のXY軸ステッピングモータ8および9に与えることによってステージを駆動する。試料ステージの駆動量はトラックボールの回転量に比例するので直感的にわかりやすく、目的位置までの試料の移動が容易となる。
請求項（抜粋）：
少なくとも2方向の駆動軸を有する試料ステージと、前記駆動軸を回転駆動する各別のステッピングモータと、このステッピングモータの駆動回路と、前記試料ステージの移動量と移動方向を指令するためのトラックボールとをそれぞれ備え、前記トラックボールの出力信号によって前記ステッピングモータ駆動回路を制御することを特徴とする分析装置の試料ステージ駆動装置。
IPC (3件)：
H01J 37/20
, G01N 23/00
, G01N 23/225
