特許
J-GLOBAL ID：200903065253032324
光偏向器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西山 恵三
, 内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-063386
公開番号（公開出願番号）：特開2005-250307
出願日： 2004年03月08日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：
【課題】 安価な光偏向器を実現する。【解決手段】 MEMSの可動部のみキャビティ内の環境雰囲気に置く形で、キャビティ内壁にガスバリア層を施した樹脂でパッケージ化する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
枠体と前記枠体に弾性支持部でねじり軸を中心にねじり振動自在に支持される可動部と、
前記可動部に形成される光反射面とを有し、
前記可動部の裏面に棒磁石を接合し、
前記可動部を磁力で駆動することによって、
前記枠体に相対的に駆動させ、
前記光反射面に入射する光線を走査する光偏向器であって、
前記光偏向器装置を光透過窓と気密封止された壁面とで囲まれたキャビティ内に光反射面を上にして配置され、
キャビティの外の磁場発生コイルによって前記可動部が駆動されることを特徴とする光偏向器。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G02B26/10 F
, G02B26/10 104Z
