特許

J-GLOBAL ID：200903065256656655

液晶表示用透明導電積層体の製造方法

発明者： 坪井 誠治 ,  八幡 一雄 ,  原 寛
出願人/特許権者： 帝人株式会社
代理人 (1件)： 前田 純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-224138
公開番号（公開出願番号）：特開2000-056321
出願日： 1998年08月07日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】 耐アルカリ性が良好な液晶表示用透明導電積層体を与える製造方法を提供する。【解決手段】 高分子フィルムの両面に硬化樹脂層が設けられており、該硬化樹脂層の少なくとも一方の面上に金属酸化物層が設けられている高分子積層フィルムの該金属酸化物層上に、スパッタリング法により透明導電薄膜を形成する液晶表示用透明導電積層体の製造方法において、成膜雰囲気中に存在する水の分圧が2.0x10-5Torrから3x10-6Torrの範囲内となるように水を導入しながら透明導電薄膜を成膜することを特徴とする耐アルカリ性の良好な液晶表示用透明導電積層体の製造方法。

請求項（抜粋）：

高分子フィルムの両面に硬化樹脂層が設けられており、該硬化樹脂層の少なくとも一方の面上に金属酸化物層が設けられている高分子積層フィルムの該金属酸化物層上に、スパッタリング法により透明導電薄膜を形成した液晶表示用透明導電積層体の製造方法において、成膜雰囲気中の水の分圧が2.0x10-5Torrから3x10-6Torrの範囲内となるように水を導入しながら透明導電薄膜を成膜することを特徴とする耐アルカリ性の良好な液晶表示用透明導電積層体の製造方法。

IPC (5件)：

G02F 1/1343 ,  B32B 9/00 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  H01B 13/00 503

FI (5件)：

G02F 1/1343 ,  B32B 9/00 A ,  C23C 14/08 D ,  C23C 14/34 M ,  H01B 13/00 503 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• プラスチックス基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-093652   出願人：藤森工業株式会社
• 特開平2-163363
  
• 透明導電膜及びその形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-200637   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭61-079646