特許
J-GLOBAL ID：200903065290895383
ウェーハ切断装置及びその方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-040981
公開番号（公開出願番号）：特開2001-230221
出願日： 2000年02月18日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：
【要約】【課題】本発明は、2本のスピンドルを有するウェーハ切断装置を使用し、2本のスピンドルの最善の回転方向を規定することにより、切断効率と高品質高スループットを図ることができるウェーハ切断装置及びその方法を提供する。【解決手段】本発明のダイシング装置10は、対向配置された2本のスピンドル34、36を互いに逆方向に回転させてウェーハWを切断する。また、対向配置された2本のスピンドル34、36を同方向に回転させた場合には、ダウンカットとアップカットとを同時に実施できる。一方、2本のスピンドル34、36を平行に配置して、2本のスピンドル34、36を互いに逆方向に回転させてウェーハWを切断すると、ダウンカットとアップカットとを同時に実施できる。
請求項（抜粋）：
2本のスピンドルを一直線上又は平行に配置し、該2本のスピンドルとウェーハとを相対的に移動させることにより、2本のスピンドルに装着された2枚のブレードによって前記ウェーハを切断するウェーハ切断装置において、前記2本のスピンドルが互いに逆方向に回転することを特徴とするウェーハ切断装置。
引用特許：
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