特許

J-GLOBAL ID：200903065324974571

圧力検出装置用パッケージ

発明者： 木野村 浩司
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-294717
公開番号（公開出願番号）：特開2002-107252
出願日： 2000年09月27日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
要約：

【要約】【課題】 小型で高感度であり、外部の圧力をばらつきなく正確に検出可能な圧力検出装置を提供すること。【解決手段】 一方の主面に半導体素子3が搭載される搭載部1bを有するとともに他方の主面に静電容量形成用の第一電極7が被着された略四角平板状の絶縁基体1と、絶縁基体1の他方の主面外周部に第一電極7を囲繞するようにして接合された内周が円形で外周が略四角形の枠体1cと、一方の主面に中央部が第一電極7に対向するとともに外周部が枠体1c上にろう付けされた静電容量形成用の略円形の第二電極9を有し、絶縁基体1との間に密閉空間を形成するように可撓な状態で枠体1cに取着された略四角平板状の絶縁板2とから成る圧力検出装置用パッケージである。

請求項（抜粋）：

一方の主面に半導体素子が搭載される搭載部を有するとともに他方の主面の中央部に静電容量形成用の第一電極が被着された略四角平板状の絶縁基体と、該絶縁基体の前記他方の主面外周部に前記第一電極を囲繞するようにして接合された内周が円形で外周が略四角形の枠体と、一方の主面に中央部が前記第一電極に対向するとともに外周部が前記枠体上にろう付けされた静電容量形成用の第二電極を有し、前記絶縁基体との間に密閉空間を形成するように可撓な状態で前記枠体に取着された略四角平板状の絶縁板とから成る圧力検出装置用パッケージであって、前記第二電極が略円形であることを特徴とする圧力検出装置用パッケージ。

IPC (2件)：

G01L 9/12 ,  H01L 29/84

FI (2件)：

G01L 9/12 ,  H01L 29/84 Z

Fターム (12件)：

2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD04 ,  2F055EE25 ,  2F055FF43 ,  2F055GG01 ,  2F055GG12 ,  4M112AA01 ,  4M112BA07 ,  4M112CA41 ,  4M112GA01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 差圧センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-102846   出願人：長野計器株式会社
• 静電容量型圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-113925   出願人：株式会社不二工機