電界電子放出素子とその製造方法及びこの電界電子放出素子を用いる表示装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-059587
公開番号（公開出願番号）：特開平9-251836
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】電子放出電極の実装密度を高めた電界電子放出素子を提供する。【解決手段】電極13は、絶縁層12を介してガラス基板11上に積層されている。溝15が、電極13及び絶縁層12を貫通してガラス基板11に到達するまでエッチングによって形成されている。尖端部14は電極13の端面から平面方向に突出しており、溝15を介して隣接する電極13の尖端部14は互いに対向するように形成されている。ここで、対向する尖端部14間に強い電界を印加すると、一方の尖端部14から電子が放出される。隣接する電極13に交流電圧を印加することによって、電子を放出する電極を切り替えることができる。

請求項（抜粋）：

複数の材質が積層されるとともに、下層及び上層を貫通する電子放出空間としての溝と、前記溝によって分割された前記上層の端面に設けられた平面方向に突出する尖端部とを備え、前記溝の前記下層部分を前記上層部分よりも幅広とし、前記溝を介して隣接する前記上層の前記尖端部を対向させて、一方の前記尖端部を電子放出電極、他方の前記尖端部を電子引出し電極として用いて成ることを特徴とする電界電子放出素子。

IPC (3件)：

H01J 1/30 , H01J 9/02 , H01J 31/12

FI (3件)：

H01J 1/30 B , H01J 9/02 B , H01J 31/12 C

引用特許：

審査官引用 (6件)

電界放出型電子源及びその駆動方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-026338 出願人：シャープ株式会社
特開平4-296422
特開平4-056040

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