特許
J-GLOBAL ID：200903065411003868

検査データ解析プログラム

発明者：
小野 眞

小野 眞 について

, 
小西 潤子

小西 潤子 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について

, 
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (2件)： 作田 康夫 ,  井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-377735
公開番号（公開出願番号）：特開2005-142384
出願日： 2003年11月07日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：
【課題】 薄膜デバイスの不良品を低減するために行うデータ解析を迅速かつ効率的に実行できるようにする。これにより、歩留りが向上させるとともに、顧客へ不良品を出荷する可能性を低減させる。【解決手段】 情報処理装置で検査データを解析するための検査データ解析プログラムであって、記憶装置から、複数の検査対象物の複数箇所で測定した複数の測定項目を備えた検査データを読み込む処理と、測定項目別に測定箇所毎の検査データの有意差を検定する処理と、該有意差を基に測定項目を選択し、その選択した測定項目毎の検査データを表示装置に表示させる処理とを有することを特徴とする検査データ解析プログラムを実行することにより達成できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
情報処理装置で検査データを解析するための検査データ解析プログラムであって、 記憶装置から、複数の検査対象物の複数箇所で測定した複数の測定項目を備えた検査データを読み込む処理と、 測定項目別に測定箇所毎の検査データの有意差を検定する処理と、 該有意差を基に測定項目を選択し、その選択した測定項目毎の検査データを表示装置に表示させる処理とを有することを特徴とする検査データ解析プログラム。
IPC (3件)：
H01L21/66 ,  G01R31/26 ,  H01L21/02
FI (4件)：
H01L21/66 Z ,  H01L21/66 Y ,  G01R31/26 G ,  H01L21/02 Z
Fターム (12件)：
2G003AA10 ,  2G003AF02 ,  2G003AF03 ,  2G003AH01 ,  4M106AA01 ,  4M106AA07 ,  4M106AB01 ,  4M106AB15 ,  4M106BA20 ,  4M106CA01 ,  4M106DJ14 ,  4M106DJ18
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (2件)

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