膜厚測定装置および膜厚測定方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 渡邊隆 , 青山正和 , 鈴木三義 , 西和哉 , 村山靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-100330
公開番号（公開出願番号）：特開2004-309215
出願日： 2003年04月03日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】専門家による定期保守などを行う必要がなく、容易に膜厚測定を行うことが可能な膜厚測定装置および膜厚測定方法を提供する。【解決手段】塗膜が形成された被測定シート10の塗膜の膜厚を測定する膜厚測定装置であり、被測定シート10にライン状に光を照射するライン状照明装置11と、被測定シート10を透過した光を受光する測定用ラインCCDカメラ12と、測定用ラインCCDカメラ12からの信号を数値化し、得られた数値データを記憶する測定カメラ画像入力ボード15と、測定カメラ画像入力ボード15からの数値データを処理して被測定シート10の塗膜の膜厚を算出するコンピュータ14とを具備する膜厚測定装置を用いる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

フィルムまたはシート上に塗膜が形成された測定対象物の塗膜の膜厚を測定する膜厚測定装置であり、測定対象物に、ライン状に光を照射するライン状照明装置と、測定対象物を透過した光を受光する測定用ラインCCDカメラと、ラインCCDカメラからの信号を数値化し、得られた数値データを記憶する記憶手段と、記憶手段に記憶された数値データを処理して測定対象物の塗膜の膜厚を算出するデータ処理手段とを具備することを特徴とする膜厚測定装置。

IPC (1件)：

G01B11/06

FI (1件)：

G01B11/06 101H

Fターム (14件)：

2F065AA30 , 2F065BB13 , 2F065BB15 , 2F065CC02 , 2F065EE00 , 2F065FF02 , 2F065FF46 , 2F065FF61 , 2F065GG02 , 2F065GG14 , 2F065JJ02 , 2F065JJ05 , 2F065JJ25 , 2F065QQ42

引用特許：

審査官引用 (4件)

蒸着膜の検査方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-314926 出願人：株式会社ヒューテック
特開昭58-103604
特開昭58-103604

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