画像取込み装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-071723
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266682
出願日： 1999年03月17日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】本発明は、操作が簡単で、良質な画像の取込みができ、しかも装置の小型化を図ることができる画像取込み装置を提供する。【解決手段】ステージ3に載置された被検査基板2に対し、入射角度を調整可能にしていてライン照明光の入射角度を任意に設定できるライン照明ユニット4を配置するとともに、ミラー51、結像レンズ53およびラインセンサカメラ54を有し、ライン照明された被検査基板2面のライン状領域の反射光を一定の反射角度で取り込む撮像光学系5を配置し、ライン照明ユニット4により照明された被検査基板2面のライン状領域の反射光を撮像光学系5のミラー51で反射させた後、結像レンズ53を介してラインセンサカメラ54に取り込む。

請求項（抜粋）：

標本を載置するステージと、このステージと相対的に移動可能に設けられ、前記被検査基板の相対移動方向と直交する方向のライン照明を、該被検査基板面の相対移動方向に対して所定の入射角度で照射させるライン照明手段と、少なくとも反射部材と撮像手段を有し、前記ライン照明手段のライン照明の照射領域からの反射光を一定の反射角度で取り込むとともに、該反射光を前記反射部材で偏向させ、前記撮像手段で撮像する撮像光学手段とを具備したことを特徴とする画像取込み装置。

Fターム (12件)：

2G051AA73 , 2G051AA90 , 2G051AB20 , 2G051BA20 , 2G051BB17 , 2G051BC07 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CC07 , 2G051DA06 , 2G051FA10

引用特許：

出願人引用 (9件)

表面欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-213088 出願人：オリンパス光学工業株式会社
基板の検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-254006 出願人：大日本印刷株式会社
特開平4-081602

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審査官引用 (9件)

表面欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-213088 出願人：オリンパス光学工業株式会社
基板の検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-254006 出願人：大日本印刷株式会社
特開平4-081602

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