特許
J-GLOBAL ID：200903065566186047
基板端縁部被膜の除去ユニットおよび除去方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小山 有 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-133082
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323448
出願日： 1999年05月13日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：
【要約】【課題】 マスク基板のような厚みの厚い基板の端縁部の被膜を確実に除去する。【解決手段】 洗浄装置2は、内部に有機溶剤や水などの洗浄液の供給路5が形成され、また基板Wに向かって上下のエッジ部6,7が突出し、これら上下のエッジ部6,7間に基板挿入スリット8が形成されている。そして、上エッジ部6の突出量は約1mm、下エッジ部7の突出量は5〜8mmに設定されている。また、前記基板挿入スリット8の上端部には前記洗浄液の供給路5につながる洗浄液流出口9が開口している。この洗浄液流出口9は洗浄装置2に沿ってスリット状に形成され、上下方向の寸法は約2mm、前後方向の寸法は約3mmである。
請求項（抜粋）：
基板端縁部に付着した被膜の除去ユニットであって、この除去ユニットは被膜を洗浄液にて除去する洗浄装置と、この洗浄装置で洗浄された基板端縁部を乾燥せしめる乾燥装置とから構成され、前記洗浄装置及び乾燥装置には基板端縁部が隙間をもって挿入される基板挿入スリットが形成され、前記洗浄装置にあっては基板挿入スリットの上部に洗浄液流出口が開口し、前記乾燥装置にあっては基板挿入スリットの上下方向の中間位置に基板端縁部に対峙する乾燥ガスの噴出口が臨んでいることを特徴とする基板端縁部被膜の除去ユニット。
引用特許：
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