封止装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金坂憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-054154
公開番号（公開出願番号）：特開平10-231932
出願日： 1997年02月21日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】高い封止効果が得られと共に、脱ガスや金属汚染、耐熱性等の問題も解消し得る封止装置を提供する。【解決手段】容器1内が所定のガス雰囲気もしくは減圧雰囲気にされる容器1における封止部18aの互いの対向面19間を封止する装置において、上記封止部18aの互いの対向面19間に、内周側の対向面19aを互に当接させて封止する内周シール部21と、外周側の対向面19b間をOリング22を介して封止する外周シール部23とを設け、これら内周シール部21と外周シール部23との間に形成した環状空間部24に上記内周シール部21を境とする内外の圧力差が小さくなるように減圧排気する排気手段25を接続している。

請求項（抜粋）：

容器内が所定のガス雰囲気もしくは減圧雰囲気にされる容器における封止部の互いの対向面間を封止する装置において、上記封止部の互いの対向面間に、内周側の対向面を互に当接させて封止する内周シール部と、外周側の対向面間をOリングを介して封止する外周シール部とを設け、これら内周シール部と外周シール部との間に形成した環状空間部に上記内周シール部を境とする内外の圧力差が小さくなるように減圧排気する排気手段を接続したことを特徴とする封止装置。

IPC (5件)：

F16J 15/06 , B01J 3/00 , H01L 21/205 , H01L 21/22 511 , H01L 21/31

FI (5件)：

F16J 15/06 B , B01J 3/00 Z , H01L 21/205 , H01L 21/22 511 Q , H01L 21/31 A

引用特許：

審査官引用 (7件)

熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-207138 出願人：東京エレクトロン東北株式会社
熱処理装置及びそのフランジ押え緩衝体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-338632 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
接合部の形成方法及び処理装置の部材間の接合方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-080997 出願人：東京エレクトロン株式会社

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