特許
J-GLOBAL ID：200903065623093166

リブ加工用感光性樹脂組成物及びこれを用いたリブパターンの形成方法

発明者：
押尾 公徳

押尾 公徳 について

, 
帯谷 洋之

帯谷 洋之 について


出願人/特許権者：
東京応化工業株式会社

東京応化工業株式会社 について


代理人 (1件)： 服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-023812
公開番号（公開出願番号）：特開平11-212257
出願日： 1998年01月21日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】溶剤のリブ形成層への浸透がなく、かつ密着性に優れたリブ加工用感光性樹脂組成物及びそれを用いた断面形状が矩形のリブパターンの形成方法を提供すること。【解決手段】(a)水溶性ポリマー、(b)ジアゾ化合物及び(c)重合体エマルションを含有する感光性樹脂組成物であって、前記(c)成分が平均粒径1〜10μmの重合体エマルジョンであることを特徴とするリブ加工用感光性樹脂組成物及びこれを用いたリブパターンの形成方法。
請求項（抜粋）：
(a)水溶性ポリマー、(b)ジアゾ化合物及び(c)重合体エマルションを含有する感光性樹脂組成物であって、前記(c)成分が平均粒径1〜10μmの重合体エマルジョンであることを特徴とするリブ加工用感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/016 ,  C09D 5/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/038 ,  H01J 9/02 ,  H01J 17/49
FI (6件)：
G03F 7/016 ,  C09D 5/00 C ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/038 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 17/49 Z
引用特許：
審査官引用 (4件)
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