特許
J-GLOBAL ID：200903016588054879

ネガ型感光性樹脂組成物およびそれを用いたペーストパターンの形成方法

発明者：
植村 貞夫

植村 貞夫 について

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安部 由朗

安部 由朗 について

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奥村 茂行

奥村 茂行 について

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丸中 英喜

丸中 英喜 について

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帯谷 洋之

帯谷 洋之 について


出願人/特許権者：
松下電子工業株式会社

松下電子工業株式会社 について

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東京応化工業株式会社

東京応化工業株式会社 について


代理人 (1件)： 服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-087308
公開番号（公開出願番号）：特開平10-268527
出願日： 1997年03月24日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】水系溶液で容易に剥離除去でき感度よくオーバーハング状レジストパターンが形成できる感光性樹脂組成物およびそれを用いた再現性に優れ、剥離性の高いペーストパターンの形成方法を提供することを目的とする。【解決手段】(a)水溶性ポリマー、(b)ジアゾ化合物、および(c)重合体エマルションを含有するリフトオフ用ネガ型感光性樹脂組成物、および該感光性樹脂組成物で形成した感光性樹脂層を基板上に設け、ホトリソグラフィーにより感光性樹脂層の一部を選択的に除去した後、該除去部分にペースト組成物を埋め込み、残存する感光性樹脂層を剥離除去することを特徴とするペーストパターンの形成方法。
請求項（抜粋）：
(a)水溶性ポリマー、(b)ジアゾ化合物、および(c)重合体エマルションを含有することを特徴とするリフトオフ用ネガ型感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/26 513 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/40 521 ,  G03F 7/42 ,  H05K 3/02
FI (5件)：
G03F 7/26 513 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/40 521 ,  G03F 7/42 ,  H05K 3/02 A
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (16件)
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