特許
J-GLOBAL ID：200903065623385647

カラーフィルタの製造方法及び固体撮像素子

発明者：
小野 隆志

小野 隆志 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (4件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-069144
公開番号（公開出願番号）：特開2006-253463
出願日： 2005年03月11日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：
【課題】 カラーフィルタ同士が重なり合うことを防止し、混色などの欠陥の発生を防止するカラーフィルタの製造方法及び固体撮像素子を提供する。【解決手段】 本発明は、基板にカラーフィルタをパターン形成するカラーフィルタの製造方法であって、基板の平面上に複数のフィルタ部を格子縞状に形成するフィルタ部形成領域と、複数のフィルタ部同士を接続する接続部を形成する接続部形成領域とを有するレチクルを用いて露光を行うことで、第1のカラーフィルタパターンを形成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板にカラーフィルタをパターン形成するカラーフィルタの製造方法であって、 前記基板の平面上に複数のフィルタ部を格子縞状に形成するフィルタ部形成領域と、前記複数のフィルタ部同士を接続する接続部を形成する接続部形成領域とを有するレチクルを用いて露光を行うことで、第1のカラーフィルタパターンを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
IPC (1件)：
H01L 27/14
FI (1件)：
H01L27/14 D
Fターム (9件)：
4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118FA01 ,  4M118FA06 ,  4M118GC08 ,  4M118GC14 ,  4M118GC17
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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