特許
J-GLOBAL ID：200903065670767981
共焦点顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 村松 貞男
, 風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-173367
公開番号（公開出願番号）：特開2004-078175
出願日： 2003年06月18日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：
【課題】最適な計測条件で高速に高さ情報を得ること。【解決手段】対物レンズ9の倍率及び試料10の高さ情報を取得する高速モード又は精細モードに応じた近似曲線、演算点数、移動ピッチからなる計測条件データを有し、この計測条件データに従ってZステージ12を移動ピッチΔZずつ光軸方向に移動させ、この移動ピッチΔZ毎に離散的に取得した光検出器15の出力である各光強度情報から近似曲線を求め、この近似曲線から最大光強度情報を推定し、この最大光強度情報に対応するZステージ12の高さから試料10の高さ情報を求める。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
対物レンズと、この対物レンズの集光位置に対して共役な位置に配置された共焦点絞りとを有し、試料と前記対物レンズとの相対距離を変化させたときの前記共焦点絞りを通過した光強度情報を離散的に取得し、これら光強度情報に基づいて最大光強度情報を得る前記相対距離を推定し、この相対距離を前記試料の高さ情報とする共焦点顕微鏡において、
前記対物レンズの倍率及び前記高さ情報を取得する各測定モードに応じた前記光強度情報の計測条件データを有し、この計測条件データに従って前記試料と前記対物レンズとの相対距離を変化させて前記試料の高さ情報を取得する高さ情報演算手段、
を具備したことを特徴とする共焦点顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
2F065AA06
, 2F065AA24
, 2F065DD06
, 2F065FF01
, 2F065FF10
, 2F065JJ01
, 2F065LL00
, 2F065LL30
, 2F065MM03
, 2F065NN20
, 2F065PP12
, 2F065QQ17
, 2F065UU06
, 2H052AA07
, 2H052AA08
, 2H052AF02
