特許

J-GLOBAL ID：200903065681005080

測定用セルおよびその製造方法

発明者： 藤山 陽一
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-002663
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194296
出願日： 2000年01月11日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】 流路断面積が十分に小さく気密性が確実に保て、化学的に安定した測定室を有し、測定感度が高い測定用セルを得る。【解決手段】 ガラス基板1、2を接合して構成され、ガラス基板1の接合面にはフォトファブリケーション技術およびウェットエッチング技術により流路溝6が形成されるとともに、ガラス基板2には液体試料導入および排出のための貫通孔9、10が形成され、接合面にスパッタ法等により光学的に不透明なSi膜3をスリットとして形成する。さらに、ガラス基板1、2の接合面および流路溝6内面をスパッタ法により成膜したSiO2膜4、5で覆い、フッ酸水溶液を界面に介在させてガラス基板1、2を接合する。

請求項（抜粋）：

液体試料を導入するための試料導入口と、導入された液体試料の流路と、液体試料を排出する排出口が設けられ、前記流路のうちの少なくとも一部の領域を測定室として用いる測定用のセルであって、この測定用セルの測定流路を、2枚の基板を接合することによって形成し、前記基板の接合面に、熱酸化以外の方法で酸化ケイ素薄膜を形成したことを特徴とする測定用セル。

IPC (4件)：

G01N 21/05 ,  G01N 21/33 ,  G01N 21/64 ,  G01N 30/74

FI (4件)：

G01N 21/05 ,  G01N 21/33 ,  G01N 21/64 Z ,  G01N 30/74 A

Fターム (28件)：

2G043AA01 ,  2G043CA03 ,  2G043EA06 ,  2G043EA13 ,  2G043KA02 ,  2G043KA03 ,  2G043MA11 ,  2G057AA01 ,  2G057AB01 ,  2G057AB03 ,  2G057AB06 ,  2G057AC01 ,  2G057BA05 ,  2G057BB01 ,  2G057BB02 ,  2G057BB06 ,  2G057BD04 ,  2G057CB03 ,  2G057DA04 ,  2G057DC07 ,  2G059AA05 ,  2G059BB04 ,  2G059DD01 ,  2G059DD12 ,  2G059EE01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059LL04

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 微小流路素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-095864   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 部材接合法及びこの方法により製造した光学測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-063160   出願人：株式会社島津製作所

審査官引用 (2件)

• 微小流路素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-095864   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 部材接合法及びこの方法により製造した光学測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-063160   出願人：株式会社島津製作所