特許
J-GLOBAL ID：200903098719238721
微小流路素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-095864
公開番号（公開出願番号）：特開平10-288580
出願日： 1997年04月14日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】従来技術は、共に、機器分析用流体流路を構成する基板として、ホウケイ酸ガラスを用いているため、紫外波長域の光を吸収してしまい、短波長域での光学検出が出来ないという問題点があった。【解決手段】本発明の微小流路素子1は、平坦な石英ガラス基板2と、少なくとも一方の面に溝が形成された石英ガラス基板3とが、ポリシリコン薄膜4、アルカリイオン含有ガラス層例えば、ホウケイ酸ガラス薄膜5、ポリシリコン薄膜6からなる積層膜を介在させて接合して構成する。そのため、石英ガラス基板2と溝9が形成された石英ガラス基板3とによって囲まれた空間によって、機器分析用流体流路7が形成されており、紫外から可視の波長域の光の透過性に優れた石英ガラス基板に流体流路が形成されており、紫外から可視の波長域において、光学的検出が可能になる。
請求項（抜粋）：
対向する側の少なくとも一方面に流路を形成する溝が設けられる一対の石英ガラス基板と、前記一対の石英ガラス基板の対向する側の面で、前記溝内面及び該溝の開口に接する面を除き、対峙する面上に形成される一対のシリコン層と、前記一対のシリコン層間に介在し、両シリコン層に接して形成されるアルカリイオン含有ガラス層と、を具備し、一体的に接合されることを特徴とする微小流路素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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