特許
J-GLOBAL ID：200903065791833680

表面欠陥検査装置

発明者：
岩田 真理

岩田 真理 について

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坂上 護

坂上 護 について

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奥 武志

奥 武志 について

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石川 千恵

石川 千恵 について


出願人/特許権者：
ダイハツ工業株式会社

ダイハツ工業株式会社 について


代理人 (1件)： 北村 修一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-376401
公開番号（公開出願番号）：特開2005-315841
出願日： 2004年12月27日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：
【課題】所定のレイアウトパターンで配置された複数の発光素子からなる照射系と、その照射系から照明される照射光を受けた被検査面を撮像する撮像カメラとを備える表面欠陥検査装置において、照射系と撮像系との構成が最も合理的かつシンプルであり、信頼性の高い検査を行うことが可能なものを得る。【解決手段】 レイアウトパターンが発光素子30を内側に所定形状の暗面を残すように連続的に配置させたものであり、少なくとも1つの暗面31に撮像カメラ4が被検査面から反射される各発光素子30の照射光を受光するように配置する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
所定のレイアウトパターンで配置された複数の発光素子と、前記発光素子の照射光によって照明された被検査面を撮像する撮像カメラと、前記撮像カメラの撮像情報を出力する出力部を備えた表面欠陥検査装置であって、 前記レイアウトパターンが前記発光素子を内側に所定形状の暗面を残すように連続的に配置させたものであり、少なくとも1つの前記暗面に前記撮像カメラが前記被検査面から反射される前記各発光素子の照射光を受光するように配置されている表面欠陥検査装置。
IPC (2件)：
G01N21/88 ,  G01B11/30
FI (2件)：
G01N21/88 Z ,  G01B11/30 A
Fターム (37件)：
2F065AA01 ,  2F065AA37 ,  2F065AA49 ,  2F065AA58 ,  2F065AA61 ,  2F065BB05 ,  2F065CC00 ,  2F065CC11 ,  2F065FF04 ,  2F065FF42 ,  2F065GG07 ,  2F065GG15 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065MM23 ,  2F065PP25 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ43 ,  2F065SS03 ,  2G051AA88 ,  2G051AB07 ,  2G051AB12 ,  2G051BA02 ,  2G051BB07 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA01 ,  2G051DA05 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01 ,  2G051ED01 ,  2G051ED09
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (8件)
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