プラズマ発生用電源装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：荒船博司 , 荒船良男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-233942
公開番号（公開出願番号）：特開2004-080846
出願日： 2002年08月09日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：

【課題】高効率、且つプラズマ負荷特有の過渡的な負荷変動からスイッチ素子を保護可能なプラズマ発生用電源装置を実現すること。【解決手段】増幅回路20は、D級増幅回路を構成するとともに、フルブリッジインバータとして機能する、ブリッジ接続された4つの半導体スイッチ(MOS-FET)を有する。そして、可変DC電源10から供給される直流電力を交流電力に変換する。また、負荷インピーダンス変換回路30は、例えばコイルやコンデンサを有し、プラズマ用電源1の負荷であるプラズマ発生装置2を、増幅回路20からみて“遅れ負荷”とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

負荷であるプラズマ発生装置に高周波電力を供給するためのプラズマ発生用電源装置であって、直流電源部と、 D級増幅回路を構成する複数のスイッチ素子を有し、前記直流電源部から出力される直流電力を高周波電力に変換して出力する電力変換回路と、負荷インピーダンスを所定の遅れ負荷に変換する負荷インピーダンス変換回路と、を備え、前記負荷インピーダンス変換回路を介して前記電力変換回路から出力される高周波電力を前記プラズマ発生装置に供給することを特徴とするプラズマ発生用電源装置。

IPC (3件)：

H02M7/5387 , H02M7/537 , H05H1/46

FI (3件)：

H02M7/5387 Z , H02M7/537 C , H05H1/46 R

Fターム (9件)：

5H007AA06 , 5H007CA02 , 5H007CB05 , 5H007CC32 , 5H007DA04 , 5H007DB01 , 5H007DC03 , 5H007FA01 , 5H007FA03

引用特許：

出願人引用 (2件)

高周波高圧電源
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-077245 出願人：株式会社ハイデン研究所
D級電力増幅回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-112929 出願人：松下電工株式会社

審査官引用 (2件)

高周波高圧電源
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-077245 出願人：株式会社ハイデン研究所
D級電力増幅回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-112929 出願人：松下電工株式会社

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