特許

J-GLOBAL ID：200903065905920413

光束配列密度変換方法および光束配列密度変換部材および光源装置

発明者： 梅木 茂 ,  日下 勝弥 ,  高橋 彰 ,  石亀 貴幸 ,  小田嶋 雅春 ,  石塚 健一 ,  工藤 光洋
出願人/特許権者： リコー光学株式会社
代理人 (2件)： 本多 章悟 ,  樺山 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-160553
公開番号（公開出願番号）：特開2006-337594
出願日： 2005年05月31日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：

【課題】プリズム等の高価な光学素子を用いることなく、複数光束の光束配列密度の変換を実現する。【解決手段】両面が互いに平行な透明板部材31を1枚、光束の方向と変換方向とに平行な面内で、光束L0、L1の方向に対して傾けて配置し、透明板部材31にM(=1)本の光束を透過させ、透明板部材31の厚さと屈折率と傾き角とに応じて、M本の光束を変換方向に平行変位させることにより、M本の光束L1と、透明板部材31を透過しないN-M本の光束L0との変換方向における間隔を変換する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

互いに平行なN(≧2)本の光束の、光束に直交する所定の変換方向の配列密度を変換する方法であって、 両面が互いに平行な透明板部材を1枚、光束の方向と変換方向とに平行な面内で、上記光束の方向に対して傾けて配置し、 上記透明板部材にM(1≦M<N)本の光束を透過させ、上記透明板部材の厚さと屈折率と傾き角とに応じて、上記M本の光束を上記変換方向に平行変位させることにより、上記M本の光束と、上記透明板部材を透過しないN-M本の光束との上記変換方向における間隔を変換することを特徴とする光束配列密度変換方法。

IPC (2件)：

G02B 27/09 ,  G02B 5/00

FI (2件)：

G02B27/00 E ,  G02B5/00 Z

Fターム (2件)：

2H042AA03 ,  2H042AA19

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 二次元配列された光ビームの配列間隔変換光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-066447   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開昭61-134188
  
• 走査型露光装置及び露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-232963   出願人：株式会社ニコン
• 位置ずれ補正方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-318547   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-134188
  
• 走査型露光装置及び露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-232963   出願人：株式会社ニコン
• 位置ずれ補正方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-318547   出願人：株式会社ニコン