特許
J-GLOBAL ID:200903065908939999

メタルマスク及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 藤村 元彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-048172
公開番号(公開出願番号):特開2001-237072
出願日: 2000年02月24日
公開日(公表日): 2001年08月31日
要約:
【要約】【課題】 有機エレクトロルミネセンス表示パネルの有機エレクトロルミネセンス媒体などの正確な形成ができるとともに製造効率を向上できるメタルマスク及びその製造方法を提供する。【解決手段】 蒸着源からの蒸着物質が通過する複数の貫通開口を有するメタルマスクは、複数の貫通開口の各々の周りのマスク本体部とマスク本体部の周囲に位置するマスク本体部の厚さより大なる厚さを有する周縁部とからなる。
請求項(抜粋):
複数の貫通開口を有するメタルマスクであって、複数の貫通開口の各々の周りのマスク本体部と前記マスク本体部の周囲に位置する前記マスク本体部の厚さより大なる厚さを有する周縁部とからなることを特徴とするメタルマスク。
IPC (3件):
H05B 33/10 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14
FI (3件):
H05B 33/10 ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A
Fターム (9件):
3K007AB04 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01
引用特許:
審査官引用 (4件)
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