特許
J-GLOBAL ID：200903065922420050
アモルファス多層構造およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大貫 進介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-079016
公開番号（公開出願番号）：特開平9-245626
出願日： 1997年03月13日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 水素含有による安定性の問題を招くことなく、堆積条件を容易かつ正確に制御するアモルファス多層構造の製造方法を提供する。【解決手段】 アモルファス多層構造(100,200)は、i)物理蒸着装置(300,400,500)内に堆積基板(101)を配置する段階;ii)物理蒸着装置(300,400,500)内でマルチ・フェーズ物質の先駆体をイオン化する段階;iii)イオンの全イオン衝突エネルギを変調し、この全イオン衝突エネルギ値に対応する所定の特性を有する層を堆積する段階を含む方法によって形成する。
請求項（抜粋）：
アモルファス多層構造(100,200)を形成する方法であって:減圧容器(306,406,506)を有する物理蒸着装置(300,400,500)を用意する段階;前記減圧容器(306,406,506)内に堆積基板(101)を用意する段階;前記減圧容器(306,406,506)内にマルチ・フェーズ物質の先駆体(307,407,507)を用意する段階;マルチ・フェーズ物質の前記先駆体(307,407,507)をイオン化することにより、全イオン衝突エネルギを有する複数のプラズマ・イオンを有するガス・プラズマを形成する段階;および時間に対して所定の方法で前記全イオン衝突エネルギを変調することによって、前記堆積基板(101)上に、前記全イオン衝突エネルギの値に対応する所定の特性を有する複数の層を堆積する段階;から成ることを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 B
, H01J 1/30 A
