特許
J-GLOBAL ID：200903086381188083
感光性耐熱性樹脂前駆体組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-128166
公開番号（公開出願番号）：特開2000-039714
出願日： 1999年05月10日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：
【要約】【課題】アルカリ現像可能な感光性耐熱性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)キノンジアジド化合物、(c)硬化剤を含有することを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する4価から8価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基、R3は水素、または炭素数1から20までの有機基である。nは10から100000までの整数、mは0から2までの整数、p、qは0から4までの整数を示す。m+p+qは1以上の整数を示す。)
請求項（抜粋）：
(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)キノンジアジド化合物、(c)硬化剤を含有することを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基、R3は水素、または炭素数1から20までの有機基である。nは10から100000までの整数、mは0から2までの整数、p、qは0から4までの整数を示す。m+p+qは1以上の整数を示す。)
IPC (12件)：
G03F 7/037 501
, C08K 5/28
, C09D 5/00
, G03F 7/022
, H01L 21/027
, H01L 21/312
, H01L 23/29
, H01L 23/31
, C08L 79/08
, C09D179/04
, C09D179/08
, C08L 63:00
G03F 7/037 501
, C08K 5/28
, C09D 5/00 Z
, G03F 7/022
, H01L 21/312 D
, C08L 79/08 A
, C09D179/04 Z
, C09D179/08 Z
, H01L 21/30 502 R
, H01L 23/30 D
