特許
J-GLOBAL ID：200903065985473471
共焦点走査型顕微鏡装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-334399
公開番号（公開出願番号）：特開2007-140183
出願日： 2005年11月18日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
【課題】試料に最適な検鏡法により取得したカラー情報を付加した3次元像を表示することができる共焦点走査型顕微鏡を提供する。【解決手段】レーザ光を発生するレーザ光源4、レーザ光を対物レンズ12を介して試料2上で2次元走査するとともに、試料2からの検出光により共焦点画像を取得するレーザ光学系、白色光源19、白色光源19より発生する照明光を対物レンズ12を介して試料2に照射し、試料2からの検出光によりカラー画像を取得する光学顕微鏡光学系を有し、対物レンズ12と試料2の相対距離を変化しながら光学顕微鏡光学系より取得される複数のカラー画像から焦点合成画像を生成するとともに、レーザ光学系より取得される複数の共焦点画像から前記試料の高さ情報を含む3次元像を生成し、この3次元像に焦点合成画像を組み合わせて表示する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レーザ光を発生するレーザ光源と、
前記レーザ光を対物レンズを介して試料上で2次元走査するとともに、前記試料からの検出光により共焦点画像を取得するレーザ光学系と、
照明光を発生する照明用光源と、
前記レーザ光源から前記試料までの光路又は前記照明用光源から前記試料までの光路に光学素子を挿脱して検鏡法を設定する検鏡法設定手段と、
前記検鏡法設定手段により設定された検鏡法に基づいて前記照明用光源より発生する照明光を前記対物レンズを介して前記試料に照射し、前記試料からの検出光によりカラー画像を取得する光学顕微鏡光学系と、
前記試料と対物レンズの相対距離を変化させる相対距離移動手段と、
前記相対距離移動手段により変化される前記相対距離毎に前記光学顕微鏡光学系より取得される複数のカラー画像から焦点合成画像を生成する第1の画像処理手段と、
前記相対距離移動手段により変化される前記相対距離毎に前記レーザ光学系より取得される複数の共焦点画像から前記試料の高さ情報を含む3次元像を生成する第2の画像処理手段と、を具備し、
前記高さ情報に基づいた前記試料の3次元像に前記焦点合成画像を組み合わせて表示することを特徴とする共焦点走査型顕微鏡装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (22件)：
2H052AA01
, 2H052AA05
, 2H052AA08
, 2H052AA09
, 2H052AA13
, 2H052AB05
, 2H052AB24
, 2H052AB25
, 2H052AC04
, 2H052AC06
, 2H052AC14
, 2H052AC15
, 2H052AC26
, 2H052AC27
, 2H052AC34
, 2H052AD20
, 2H052AD32
, 2H052AD33
, 2H052AD34
, 2H052AF13
, 2H052AF21
, 2H052AF25
出願人引用 (1件)
-
三次元測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-256683
出願人：株式会社キーエンス
審査官引用 (3件)
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