特許
J-GLOBAL ID:200903094602567656
三次元測定装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松本 直己
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-256683
公開番号(公開出願番号):特開2001-082935
出願日: 1999年09月10日
公開日(公表日): 2001年03月30日
要約:
【要約】【課題】 実際の測定対象物の部位と表示装置に表示された表面形状の部位との対応関係が分かりやすい三次元測定装置を提供する。【解決手段】 三次元測定装置である共焦点顕微鏡は、測定対象物wからの光を対物レンズ17を含む共焦点光学系1を通して受光する受光素子19と、測定対象物wの色情報を画素ごとに取得するカラーCCD24と、対物レンズ17の焦点に対する測定対象物wの光軸方向での相対位置を変化させるZ方向変位機構30と、測定対象物wを光源10からの光で光軸方向に垂直なXY方向に走査する走査機構14a,14bと、受光量が最大になるときの測定対象物wの光軸方向での相対位置に相当する高さ情報と色情報を画素ごとに求めて記憶する処理装置46と、画素ごとの高さ情報及び色情報を用いて、測定対象物の表面形状のカラー三次元表示を行う表示装置47とを備えている。
請求項(抜粋):
測定対象物からの光を受光素子で受光し、その受光情報に基づいて前記測定対象物の高さ情報を含む三次元の表面形状の情報を取得し、前記表面形状を表示装置に三次元表示する三次元測定装置であって、前記測定対象物のカラー画像を取得するカラー撮像手段を備え、前記カラー撮像手段から得られる画素ごとの色情報を用いて、前記表面形状の三次元表示を着色することを特徴とする三次元測定装置。
Fターム (27件):
2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065GG06
, 2F065GG22
, 2F065GG24
, 2F065HH04
, 2F065HH05
, 2F065JJ00
, 2F065JJ05
, 2F065JJ17
, 2F065JJ18
, 2F065LL08
, 2F065LL13
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065LL62
, 2F065MM02
, 2F065MM16
, 2F065PP12
, 2F065PP24
, 2F065QQ03
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
, 2F065SS02
, 2F065SS13
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (8件)
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