特許
J-GLOBAL ID：200903066013645198
端縁位置検出装置、周辺露光装置および端縁位置検出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-074681
公開番号（公開出願番号）：特開平9-266156
出願日： 1996年03月28日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：
【要約】【課題】 透光性基板に対しても基板の端縁位置を正しく検出することができる端縁位置検出装置、周辺露光装置および端縁位置検出方法を提供する。【解決手段】 透光性基板1bの上方に光源41を配置し、下方に光源41に対向してCCDラインセンサ42を配置する。CCDラインセンサ42からの出力信号は、透光性基板1bの外方に定められた基準位置P0 に相当する受光セルから回転中心軸側に向かう順に走査される。CCDラインセンサ42からの出力信号が、オン状態からオフ状態に最初に変化した受光セルの位置を透光性基板1bの端縁位置と仮定し、その後オフ状態示す受光セル領域の長さが所定値、例えば基板周縁の面取り部に相当する長さに達した場合、仮定した端縁位置を正規の端縁位置に設定する。
請求項（抜粋）：
基板の端縁位置を検出する端縁位置検出装置であって、前記基板の一面側に配置され、前記基板の周縁部の外方から内方に渡る所定領域に光を投射する投光手段と、前記基板の他面側に前記投光手段と対向するように配置され、前記所定領域からの透過光を受光し、前記所定領域に対応する受光信号を出力する受光手段と、前記基板の外方から内方に向かう方向において前記受光手段から出力される受光信号が受光状態から最初に遮光状態に変化しかつ前記遮光状態が所定の長さ以上連続するときに前記受光状態から遮光状態への最初の変化点に基づいて前記基板の端縁位置を検出する検出手段とを備えたことを特徴とする端縁位置検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 577
, G03F 1/00 Z
