形状測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：本庄武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-339091
公開番号（公開出願番号）：特開2008-180708
出願日： 2007年12月28日
公開日（公表日）： 2008年08月07日
要約：

【課題】被測定物の振動の影響を受けず,また,干渉光の乱れや揺らぎを生じさせることなく,被測定物の厚みを簡易に高精度で測定できること。【解決手段】周波数がわずかに異なる第1ビーム光P1及び第2ビーム光P2のそれぞれを分岐させておもて面の測定部位1a及びうら面の測定部位1bへ導き,第1ビーム光P1を物体光とし,第2ビーム光P2を参照光とするおもて面側のヘテロダイン干渉計a20と,第2ビーム光P2を物体光とし,第1ビーム光P1を参照光とする(おもて面とは物体光と参照光とが逆の関係である)うら面側のヘテロダイン干渉計b20と,両ヘテロダイン干渉計a20,b20それぞれから出力される強度信号Sig1,Sig2の位相差φsを検出し,その検出信号を被測定物1の厚みに相当する測定値として出力する第1位相検波器4とを具備する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被測定物の厚みを非接触で測定するために用いられる形状測定装置であって, 所定の光源から出射されるそれぞれ周波数が異なる第1の測定光及び第2の測定光のそれぞれを分岐させて前記被測定物の表裏相対する部位であるおもて面の測定部位及びうら面の測定部位の各方向へ導く導光手段と, 前記おもて面の測定部位の方向へ導かれた前記第1の測定光を前記おもて面の測定部位に照射させるとともに,前記おもて面の測定部位の方向へ導かれた前記第2の測定光を第1の参照面に照射させ,前記おもて面の測定部位からの前記第1の測定光の反射光と前記第1の参照面からの前記第2の測定光の反射光とを干渉させ,その干渉光の強度信号を出力するおもて面側のヘテロダイン干渉計と, 前記うら面の測定部位の方向へ導かれた前記第2の測定光を前記うら面の測定部位に照射させるとともに,前記うら面の測定部位の方向へ導かれた前記第1の測定光を第2の参照面に照射させ,前記うら面の測定部位からの前記第2の測定光の反射光と前記第2の参照面からの前記第1の測定光の反射光とを干渉させ,その干渉光の強度信号を出力するうら面側のヘテロダイン干渉計と, 前記おもて面側のヘテロダイン干渉計及び前記うら面側のヘテロダイン干渉計のそれぞれから出力される強度信号の位相差を検出し,その検出信号を前記被測定物の厚みに相当する第1の測定値として出力する第1の位相検波手段と, を具備してなることを特徴とする形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/06 , G01B 11/245 , G01B 9/02

FI (3件)：

G01B11/06 G , G01B11/245 G , G01B9/02

Fターム (46件)：

2F064AA09 , 2F064DD02 , 2F064DD04 , 2F064DD05 , 2F064DD08 , 2F064EE01 , 2F064FF01 , 2F064FF06 , 2F064GG02 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064GG23 , 2F064GG32 , 2F064GG38 , 2F064HH01 , 2F064JJ05 , 2F064JJ06 , 2F065AA30 , 2F065AA51 , 2F065BB01 , 2F065CC19 , 2F065DD11 , 2F065DD14 , 2F065EE00 , 2F065FF52 , 2F065GG04 , 2F065GG23 , 2F065HH04 , 2F065HH09 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065JJ09 , 2F065LL12 , 2F065LL33 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065LL46 , 2F065LL57 , 2F065PP12 , 2F065QQ00 , 2F065QQ23 , 2F065SS03 , 2F065SS13

引用特許：

出願人引用 (2件)

光学式形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-184489 出願人：株式会社神戸製鋼所, ジェネシス・テクノロジー株式会社
形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-137053 出願人：株式会社神戸製鋼所

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