表面プラズモン素子及びこれを用いた物質検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-098062
公開番号（公開出願番号）：特開2003-294615
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：

【要約】【課題】出射光が高精度の表面プラズモン素子を提供する。化学物質を感度良く検査できる物質検査装置を提供する。【解決手段】物質検査装置は、基材110と、基材110を周回する周回表面111と、周回表面111の上に設けられている金属膜120と、光透過部材140とを備えている。光透過部材140は金属膜120に対向する対向表面142と、光が入射される入射部143と、光が外部に出射される出射部144とを有している。入射部に入射し、対向表面に導かれた光は、金属膜の表面を周回表面に沿って周回する表面プラズモンを励起する。表面プラズモンと対向表面に導かれた光とは干渉する。出射部から出射する光の状態は表面プラズモンの状態に応じて変化する。

請求項（抜粋）：

金属で形成された金属表面を有している金属部材と、前記金属表面に含まれており、金属部材を周回する周回表面と、光を透過させる光透過部材と、この光透過部材の表面に含まれており、前記周回表面に対向する対向表面と、前記光透過部材に設けられており、光が入射される入射部であって、この入射部に入射された光は前記光透過部材を透過して前記対向表面に導かれる入射部と、前記光透過部材に設けられており、光が外部に出射される出射部であって、前記対向表面で反射した光が前記光透過部材を透過し、この出射部から出射する出射部と、を備えており、前記入射部に入射し、前記対向表面に導かれた光は、前記周回表面を周回する表面プラズモンを励起し、この周回する表面プラズモンと前記対向表面に導かれた光とは干渉し、前記出射部から出射する光の状態は前記周回する表面プラズモンの状態に応じて変化することを特徴とする表面プラズモン素子。

IPC (5件)：

G01N 21/27 , G01N 21/03 , G01N 33/53 , G01N 33/543 595 , G01N 33/566

FI (6件)：

G01N 21/27 C , G01N 21/03 Z , G01N 33/53 D , G01N 33/53 M , G01N 33/543 595 , G01N 33/566

Fターム (20件)：

2G057AA02 , 2G057AB07 , 2G057AC01 , 2G057BA01 , 2G057BB01 , 2G059AA01 , 2G059AA05 , 2G059BB04 , 2G059BB12 , 2G059CC16 , 2G059EE02 , 2G059EE09 , 2G059GG02 , 2G059GG10 , 2G059JJ01 , 2G059JJ02 , 2G059JJ13 , 2G059KK01 , 2G059KK04 , 2G059MM10

引用特許：

審査官引用 (4件)

部材の先端部に金属微粒子を生成して固定する方法およびその装置ならびにプローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-261197 出願人：理化学研究所
2次元イメージング表面プラズモン共鳴測定装置および測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-065983 出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー, 科学技術振興事業団, 日本電信電話株式会社, エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社
近接場プローブおよび近接場プローブの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-348124 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, オリンパス光学工業株式会社, シャープ株式会社

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