特許
J-GLOBAL ID:200903066117861356
絶縁延長を有する微小電気機械変換器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
谷 義一
, 阿部 和夫
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-516496
公開番号(公開出願番号):特表2009-508367
出願日: 2006年06月16日
公開日(公表日): 2009年02月26日
要約:
絶縁延長を備えた絶縁体によって隔てられた2つの電極を有する(cMUTなどの)微小電気機械変換器が開示される。2つの電極は、その間に変換用ギャップを画定する。絶縁体は、2つの電極間に配置された絶縁性の支持体と、変換用ギャップの増大を必要とすることなく有効な絶縁を高めるために2つの電極の少なくとも1つの中に延在する絶縁延長とを有する。また、微小電気機械変換器を製造するための方法も開示される。この方法は、従来の膜ベースのcMUT、および剛性のある上部プレートを輸送する組込み型スプリングを有するcMUTにおいて使用することができる。
請求項(抜粋):
上面を有する第1導電層と、
前記第1層の前記上面に対向する底面を有する第2導電層であって、前記第1導電層と前記第2導電層とはそれらの間に変換用ギャップを画定する第2導電層と、
前記第1導電層と前記第2導電層との間に配置された絶縁性の支持体と、
前記第1導電層および前記第2導電層のうちの少なくとも1つの内部に延在する絶縁延長と
を備えることを特徴とする静電変換器。
IPC (3件):
H04R 19/00
, B81B 3/00
, B81C 1/00
FI (3件):
H04R19/00 330
, B81B3/00
, B81C1/00
Fターム (13件):
3C081BA44
, 3C081BA46
, 3C081BA48
, 3C081CA02
, 3C081CA03
, 3C081CA13
, 3C081CA32
, 3C081DA02
, 3C081DA04
, 3C081EA21
, 5D019AA19
, 5D019AA21
, 5D019DD01
引用特許: