特許
J-GLOBAL ID：200903066155146016
導電性ボールの移載方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-336834
公開番号（公開出願番号）：特開平11-176875
出願日： 1997年12月08日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：
【要約】【課題】 確実にプレースミスを防止することができる導電性ボールの移載方法を提供することを目的とする。【解決手段】 吸着ツール32の下面の吸着孔35にボール供給部の導電性ボール1を真空吸着してピックアップし、吸着ツール32を基板26の上方に相対的に移動させ、吸着ツール32を下降させて真空吸着を解除することにより、導電性ボール1を基板26に移載するようにした導電性ボールの移載方法において、導電性ボール1を基板26へ移載した後吸着ツール32が上昇する際に、導電性ボール1から吸着ツール32が隔離したことが検知された後所定時間経過後に吸着ツール32に打撃を与えるようにした。これにより、吸着ツール32に残留した導電性ボール1が基板上からわずかの高さhに上昇したタイミングでこの導電性ボール32を確実に脱落させることができる。
請求項（抜粋）：
吸着ツールに導電性ボールの供給部に対して上下動作を行わせてこの吸着ツールの下面に形成された複数個の吸着孔に導電性ボールを真空吸着してピックアップし、次いで吸着ツールをワークの上方に相対的に移動させ、そこで吸着ツールに再度上下動作を行わせるとともに、真空吸着を解除することにより、前記吸着孔に真空吸着された導電性ボールをワークに移載するようにした導電性ボールの移載方法であって、導電性ボールを前記ワークへ移載した後吸着ツールが上昇する際に、移載された導電性ボールから吸着ツールが離隔したことが離隔検知手段によって検知された後所定時間経過後に吸着ツールに振動付与手段により振動を与え、この振動により吸着ツールの下面に残留している導電性ボールを落下させることを特徴とする導電性ボールの移載方法。
IPC (4件)：
H01L 21/60 311
, H01L 21/60
, B23P 19/00 301
, H01L 23/12
H01L 21/60 311 S
, B23P 19/00 301 L
, H01L 21/92 601
, H01L 23/12 L
