加速度センサ及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柿本恭成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-371103
公開番号（公開出願番号）：特開2006-177768
出願日： 2004年12月22日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：

【課題】簡単な製造方法で耐衝撃性等を向上させる。【解決手段】加速度センサは、錘固定部13を可撓的に支持する周辺固定部12と、錘固定部13に固定された錘部23と、この錘部23をパッケージ底部61等のセンサ搭載部から所定の間隔をおいて配置するために周辺固定部12を前記センサ搭載部に固定する台座部21と、前記センサ搭載部に対向する位置に配設され、錘部23の変位を制限するストッパ部15とを備えている。そして、ストッパ部15上等に直接、硬化性の弾性接着剤(例えば、液体から弾性体に硬化するシリコン系ゴム50等)をディスペンサ等を用いて一定量塗布している。これにより、ストッパ部15に加わる衝撃力等を弾性接着剤により吸収及び抑制でき、ストッパ部15を補強して耐衝撃性等の機械的強度を向上できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

錘固定部を可撓的に支持する周辺固定部と、前記錘固定部に固定された錘部と、前記錘部をセンサ搭載部から所定の間隔をおいて配置するために前記周辺固定部を前記センサ搭載部に固定する台座部と、前記センサ搭載部の底面に対向する位置に配設され、前記錘部の変位を制限するストッパ部と、を備えた加速度センサにおいて、前記ストッパ部上に、硬化性の弾性接着剤を一定量塗布したことを特徴とする加速度センサ。

IPC (5件)：

G01P 15/02 , G01P 15/12 , H01L 29/84 , G01P 15/08 , G01P 15/18

FI (5件)：

G01P15/02 A , G01P15/12 D , H01L29/84 A , G01P15/08 P , G01P15/00 K

Fターム (24件)：

4M112AA02 , 4M112BA01 , 4M112CA21 , 4M112CA22 , 4M112CA24 , 4M112CA29 , 4M112CA32 , 4M112CA33 , 4M112CA34 , 4M112DA03 , 4M112DA04 , 4M112DA06 , 4M112DA09 , 4M112DA12 , 4M112DA16 , 4M112DA18 , 4M112EA06 , 4M112EA07 , 4M112EA10 , 4M112EA11 , 4M112EA14 , 4M112EA18 , 4M112FA07 , 4M112FA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

加速度センサとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-366814 出願人：沖電気工業株式会社

審査官引用 (8件)

特開平1-143963
加速度センサとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-366814 出願人：沖電気工業株式会社
特開平4-369279

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