特許

J-GLOBAL ID：200903066206546731

微小機構部品及びその製造方法

発明者： 小田 拓嗣 ,  小林 実 ,  太田 斎
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-267003
公開番号（公開出願番号）：特開平8-127073
出願日： 1994年10月31日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：

【要約】【目的】 簡便に高精度で形成できる、寸法が数mm以下でμm級の精度を要する3次元的に微細で複雑な形状の微小機構部品及びその製造方法を提供する。【構成】 基材に感光性樹脂膜1を形成し、所望のパターンに露光する工程と、樹脂膜の混合を防止し、その露光を妨げる中間膜2を形成する工程を繰り返し、樹脂膜1と中間膜2からなる多層構造物を形成した後、樹脂の現像液に浸漬して露光部を選択除去して、立体形状の微小機構部品を得る。

請求項（抜粋）：

感光性樹脂膜がこの感光性樹脂膜の混合を防止するとともに上記感光性樹脂膜を露光する光を遮る中間膜を介して多層積層され、上記感光性樹脂膜と中間膜が選択除去され所望の立体形状に形成された微小機構部品。

IPC (3件)：

B29C 67/00 ,  B29C 35/08 ,  B29K105:24

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-108519
  
• 特開昭62-032009
  
• 微細構造体の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-253342   出願人：住友電気工業株式会社
• 微小構造物製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-003349   出願人：株式会社リコー