特許
J-GLOBAL ID：200903066248913483
光学要素構成材
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉本 丈夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-230982
公開番号（公開出願番号）：特開平9-080202
出願日： 1995年09月08日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】SOR光,レーザ光,X線等の高エネルギビームの照射によっては破損しないレーザ反射鏡等の構成材を提供する。【解決手段】 炭化珪素又はカーボンで構成される基体の表面に炭化珪素膜を化学蒸着により被覆形成してなる複合材である。基体は93%以上の高密度焼結体である。炭化珪素膜は、そのスペクトル吸収端が550nm以下のものである。
請求項（抜粋）：
炭化珪素又はカーボンで構成される基体の表面に炭化珪素膜を化学蒸着により被覆形成してなる複合材であって、基体が93%以上の高密度体であり、炭化珪素膜がスペクトル吸収端550nm以下のものであることを特徴とする光学要素構成材。
IPC (3件)：
G02B 1/10
, C23C 16/42
, C30B 25/06
G02B 1/10 Z
, C23C 16/42
, C30B 25/06
