特許
J-GLOBAL ID：200903066325043098
撮像装置及びフォトマスクの欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-103204
公開番号（公開出願番号）：特開2003-294651
出願日： 2002年04月05日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：
【要約】【課題】高速スキャンを可能とする撮像装置及びフォトマスクの欠陥検査装置を提供すること。【解決手段】本発明は、ラインコンフォーカル光学系を構成し、かつ複数回のライン照明を行う構成を有している。そして、本発明では、特に、回折格子32が、m×n本のサブビームを発生させる。さらに、m×n本のサブビームは、音響光学素子33により連続するように偏向される。したがって、m×n本のサブビームによりビームを走査しているので、短期間で走査を完了することができる。
請求項（抜粋）：
撮像すべき試料を第1の方向に移動させる試料ステージと、光ビームを発生する光源と、この光ビームから第1の方向に対応する方向及び当該第1の方向と直交する第2の方向に沿って所定の間隔でm×n本のサブビームを発生させる回折格子と、前記m×n本のサブビームを第1の方向に偏向するビーム偏向装置と、前記試料からの透過光又は反射光を受光する画像検出器であって、前記第1及び第2の方向に沿って2次元アレイ状に配列された複数の受光素子を有し、第1の方向に配列された各ラインの受光素子に蓄積された電荷を所定のライン転送速度で1ライン毎に順次転送し、受光素子に蓄積された電荷を順次出力する画像検出器と、前記試料ステージと前記画像検出器との間に配置され、第2の方向に沿って所定のピッチで形成され第1の方向に延在する複数のスリットを有する空間フィルタと、前記画像検出器及びビーム偏向装置の駆動を制御する駆動制御回路とを備え、前記試料表面を走査するm×n本のサブビームによる反射光又は透過光が前記空間フィルタの各スリットを経て前記画像検出器に入射するように構成し、前記試料ステージの移動速度と前記画像検出器の電荷転送速度とを、前記試料の、i番目のサブビーム列が入射する位置から第2の方向に隣接するi+1番目のサブビーム列が入射する位置まで移動する時間と、前記画像検出器の、空間フィルタのi番目のスリットを通過した光が入射する受光素子列に蓄積された電荷が隣接するi+1番目のスリットを通過した照明光が入射する受光素子列に転送されるまでの時間とが互いに等しくなるように設定し、前記駆動制御回路は、前記m×n本のサブビームが第1の方向に連続するようにビーム偏向装置を駆動制御した撮像装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/956 A
, H01L 21/66 J
2G051AA51
, 2G051AB02
, 2G051BA10
, 2G051BB07
, 2G051BB20
, 2G051BC05
, 2G051BC10
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051CB02
, 2G051CD06
, 2G051DA07
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106CA39
, 4M106CA47
, 4M106DB04
, 4M106DB08
, 4M106DB11
, 4M106DJ18
