半導体加速度センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：安藤淳二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-329164
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160348
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】梁部の幅を長くすることなく、高感度で温度特性に優れた半導体加速度センサを提供する。【解決手段】加速度を受けて変位する重り部1と、中央部2aと中央部2aの外縁から四方に延在する梁部2bとを有し、中央部2aの下面に重り部1が連結された撓み部2と、撓み部2を支持する支持部材3と、重り部1の変位により撓み部2に生じる歪みを少なくともX,Y軸の2方向で検出するピエゾ抵抗RX1〜RX4,RY1〜RY4とを有し、ピエゾ抵抗RX1〜RX4,RY1〜RY4が中央部2aと梁部2bとの連結部位近傍に配置され、各軸方向のピエゾ抵抗RX1〜RX4,RY1〜RY4がブリッジ回路で構成されている。そして、各軸方向の中央部2aを挟んで設けられたピエゾ抵抗RX1〜RX4,RY1〜RY4間を接続する配線4が中央部2a上に設けられ、各軸方向の配線4が直交交差され、各軸方向の配線4の中点が、異なる軸方向の梁部2b上を介して支持部材3上に電気的に引き出されている。

請求項（抜粋）：

加速度を受けて変位する重り部と、中央部と該中央部の外縁から四方に延在する梁部とを有し、前記中央部の下面に前記重り部が連結された撓み部と、前記撓み部を支持する支持部材と、前記重り部の変位により前記撓み部に生じる歪みを少なくともX,Y軸の2方向で検出するピエゾ抵抗とを有し、該ピエゾ抵抗が前記中央部と前記梁部との連結部位近傍に配置され、各軸方向の前記ピエゾ抵抗がブリッジ回路で構成された半導体加速度センサにおいて、各軸方向の前記中央部を挟んで設けられた前記ピエゾ抵抗間を接続する配線が前記中央部上に設けられ、各軸方向の該配線が直交交差され、各軸方向の前記配線の中点が、異なる軸方向の梁部上を介して前記支持部材上に電気的に引き出されて成ることを特徴とする半導体加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/12 , H01L 29/84

FI (2件)：

G01P 15/12 , H01L 29/84 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-075503 出願人：株式会社ニコン
特開平3-276072
力検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-031833 出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (2件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-075503 出願人：株式会社ニコン
特開平3-276072

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