走査型プローブ顕微鏡とこの走査型プローブ顕微鏡を備えた加工装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：田宮寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-318637
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142240
出願日： 1996年11月14日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】低速走査から高速走査に至る広い範囲で料表面の情報を正確に得ることができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】探針15を支える可変形部材としてのカンチレバー16と、カンチレバーの変位を計測する光テコ(17,18) と、カンチレバーを試料に対し接近・退避させる手段と、XY走査回路21を備え、さらにカンチレバーと試料の間の距離を変化させるトライポッドのZ軸圧電素子14b と、光テコにより得られる変位信号s1が設定値s0になるようにカンチレバーと試料の距離を制御する制御回路20と、制御回路から得られる制御信号と、変位信号と設定値の間の偏差に基づく信号とを加算する加算器24を備え、この加算器から出力される信号から試料の表面情報を得るように構成される。

請求項（抜粋）：

可変形部材に支えられ試料に対向する探針と、前記試料と前記探針の間に相対変位を与える手段と、前記探針と前記試料の間に生じる物理量に起因した前記探針に作用する力の検出手段とを有する走査型プローブ顕微鏡において、前記探針の前記力に関する状態量を設定値に保つ制御手段と、当該制御手段から得られる信号と、前記探針の状態量および前記設定値の間の偏差に基づく信号とを加算する加算手段とを有し、前記加算手段から出力される信号から前記試料の表面情報を得ることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , H01J 37/28

FI (3件)：

G01N 37/00 F , G01B 21/30 Z , H01J 37/28 Z

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平1-206202
走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-084774 出願人：日立建機株式会社
導電性カンチレバーを用いた走査型原子間力顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-045286 出願人：日本電子株式会社

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