特許
J-GLOBAL ID：200903066372578820

光走査装置

発明者：
松浦 辰彦

松浦 辰彦 について


出願人/特許権者：
株式会社キーエンス

株式会社キーエンス について


代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-188211
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013417
出願日： 1999年07月01日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】 多量のデータを記憶することなく、光源の光量が変化した場合でも対象物に走査させる光の量を一定に制御することができ、かつ走査手段の特性が変化した場合または光の走査範囲を任意に設定した場合でも光の走査範囲を一定に制御することができる光走査装置を提供することである。【解決手段】 半導体レーザ10から出射されたレーザ光は共振スキャナ210のミラー211により反射され、PSD220に入射する。光量・ビーム振れ幅検出回路230はPSD220の出力電流から光量検出信号およびビーム振れ幅検出信号を出力する。光量制御回路240は光量検出信号に応答してPSD220により受光される光量が一定になるように半導体レーザ10を制御する。ビーム振れ幅制御回路250はビーム振れ幅検出信号に応答してPSD220の受光領域でのビーム振れ幅が一定になるように自励発振回路200を制御する。
請求項（抜粋）：
対象物に光を走査させる光走査装置であって、光を出射する光源と、前記光源により出射された光を反射する鏡および前記鏡を揺動させる揺動手段を有し、前記鏡で反射された光を対象物に走査させる走査手段と、前記走査手段の前記揺動手段を駆動する走査駆動回路と、前記走査手段の前記鏡で反射された光の少なくとも一部を受光する受光素子と、前記受光素子の出力信号から前記走査手段により走査される光の量を検出する光量検出回路と、前記光量検出回路の出力信号に応答して前記走査手段により走査される光の量が一定になるように第1の制御信号により前記光源をフィードバック制御する光量制御回路と、前記受光素子の出力信号から前記走査手段による光の走査範囲を検出する走査範囲検出回路と、前記走査範囲検出回路の出力信号に応答して前記走査手段による光の走査範囲が一定になるように第2の制御信号により前記走査駆動回路をフィードバック制御する走査範囲制御回路とを備えたことを特徴とする光走査装置。
IPC (2件)：
G02B 21/00 ,  G02B 26/10
FI (2件)：
G02B 21/00 ,  G02B 26/10 A
Fターム (21件)：
2H045AB01 ,  2H045AB44 ,  2H045BA41 ,  2H045CA82 ,  2H045CB32 ,  2H045CB42 ,  2H052AA08 ,  2H052AA13 ,  2H052AB05 ,  2H052AC04 ,  2H052AC14 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC28 ,  2H052AC34 ,  2H052AD20 ,  2H052AD33 ,  2H052AD35 ,  2H052AF06 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 光走査型画像入力装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-163797   出願人：株式会社ニコン
  • 走査ユニット
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-075854   出願人：オリンパス光学工業株式会社
  • 合焦検出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-081926   出願人：オリンパス光学工業株式会社

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