アルミニウム中空導波路およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-353994
公開番号（公開出願番号）：特開平11-149016
出願日： 1997年11月17日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】紫外から赤外の広い波長範囲の光に対し低損失であり、可撓性、耐久性に優れ、細径、長尺化が容易で、しかも量産性に優れた中空導波路を提供する。【解決手段】ガラス、金属あるいはプラスチックで構成されたパイプ1Aの内壁に、アルミニウムの薄膜1Bが形成されている中空導波路。中空導波路は、アルミニウムの薄膜の内壁面に、無機物もしくは有機樹脂の誘導体薄膜が設けられているものでも良く、その誘導体が、アルミニウムの表面を酸化させて形成された酸化アルミニウムであっても良い。中空導波路の製造方法は、アルミニウム有機化合物の蒸気を、金属または非金属パイプの中空領域に流入させながら、化学気相成長法によりパイプ内壁面にアルミニウムの薄膜を形成する。

請求項（抜粋）：

ガラス、金属あるいはプラスチックで構成されたパイプの内壁に、アルミニウムの薄膜が形成されていることを特徴とする中空導波路。

IPC (2件)：

G02B 6/02 , G02B 6/20

FI (2件)：

G02B 6/02 C , G02B 6/20 Z

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平2-027808
特開平2-278208
耐熱性ガラスファイバ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-036189 出願人：住友電気工業株式会社

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