特許
J-GLOBAL ID:200903066435990246
初期亀裂形成機構
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-099970
公開番号(公開出願番号):特開2007-268953
出願日: 2006年03月31日
公開日(公表日): 2007年10月18日
要約:
【課題】極微小な初期亀裂を正確な位置に再現性良く形成することができる初期亀裂形成機構を提供すること。【解決手段】初期亀裂形成機構30は、基板Kに対向する先端に切削刃17を備え基板に対してその割断予定線Jに沿う方向Yに相対移動可能とされ且つこの相対移動の方向と直交する水平軸15回りに回動可能に軸支された切削刃ユニット1と、初期亀裂形成位置P1に切削刃を保持した状態で切削刃ユニットが前記水平軸の回りに回動することを規制し前記相対移動により切削刃が基板における割断予定線の始端に衝突したときの抵抗力によって上記保持を解除可能とする第1保持手段5と、上記衝突により第1保持手段による保持が解除された切削刃ユニットを、上記水平軸の回りに回動させると共に退避位置P2に切削刃が位置するように保持する第2保持手段4とを備える。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
被割断基板Kにおける割断予定線Jの始端JSに切削刃17により初期亀裂Cを形成する初期亀裂形成機構30であって、
被割断基板Kに対向する先端に切削刃17を備え被割断基板Kに対してその割断予定線Jに沿う方向Yに相対移動可能とされ且つこの相対移動の方向Yと直交する水平軸15の回りに回動可能に軸支された切削刃ユニット1と、
被割断基板Kの表面よりも低い位置である初期亀裂形成位置P1に切削刃17を保持した状態で切削刃ユニット1が前記水平軸15の回りに回動することを規制し前記相対移動により切削刃17が被割断基板Kにおける割断予定線Jの始端JSに衝突したときの抵抗力によって上記保持を解除可能とする第1保持手段5と、
上記衝突により第1保持手段5による保持が解除された切削刃ユニット1を、上記水平軸15の回りに回動させると共に被割断基板Kの表面よりも高い位置である退避位置P2に切削刃17が位置するように保持する第2保持手段4とを備えることを特徴とする初期亀裂形成機構。
IPC (5件):
B28D 5/00
, C03B 33/03
, C03B 33/09
, C03B 33/027
, B28D 1/24
FI (5件):
B28D5/00 Z
, C03B33/03
, C03B33/09
, C03B33/027
, B28D1/24
Fターム (23件):
3C069AA03
, 3C069BA04
, 3C069BB01
, 3C069BC01
, 3C069CA03
, 3C069CA11
, 3C069EA01
, 3C069EA02
, 4E068AA03
, 4E068AE00
, 4E068DA10
, 4E068DB13
, 4G015FA01
, 4G015FA02
, 4G015FA03
, 4G015FA04
, 4G015FA06
, 4G015FB01
, 4G015FB02
, 4G015FC02
, 4G015FC07
, 4G015FC11
, 4G015FC14
引用特許:
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