走査電子顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：井島藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-106071
公開番号（公開出願番号）：特開2001-291485
出願日： 2000年04月07日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：

【要約】【課題】低真空下でも2次電子を検出でき、2次電子像の観察を行うことができる走査電子顕微鏡を実現する。【解決手段】試料室3とコロナリング10が配置されるコロンリング室16とを差動排気し、コロンリング室内の真空度を高くするようにしたので、コロンリング10に2次電子を加速するために充分な電圧を放電の発生なしに印加することができる。この結果、試料への電子ビームEBの照射によって発生した2次電子は、300Vが印加されたコレクタ9によって集められ、コレクタ電位より高い電圧が印加されたコレクタ絞り17の電界により、絞り17の中央の開口付近に集められる。集められた2次電子はコロナリング10により加速されてシンチレータ21に衝突する。

請求項（抜粋）：

電子ビームを発生し加速する電子銃と、電子ビームを試料上に集束するための集束レンズと、試料上の電子ビームの照射位置を走査するための走査手段と、試料への電子ビームの照射によって得られた信号を検出する検出器と、検出器の検出信号に基づいて試料像を表示する表示手段とを備えた走査電子顕微鏡において、試料が入れられた試料室をその上部空間に比べて低い真空度に維持する手段と、試料室内に配置され、試料から発生した2次電子を集めるために比較的低い電圧が印加されるコレクタと、コレクタに接近して配置され、試料室の真空度より高い真空度に維持される高真空室と、高真空室内に配置され、コレクタによって集められた2次電子を加速しシンチレータに衝突させるために比較的高電圧が印加される電極と、シンチレータの発光に基づいて検出信号を発生する光電子増倍管とを備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/244 , H01J 37/18 , H01J 37/28

FI (3件)：

H01J 37/244 , H01J 37/18 , H01J 37/28 B

Fターム (4件)：

5C033KK01 , 5C033NN01 , 5C033UU04 , 5C033UU06

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭58-219472
特開平2-301949
静電偏向器
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-269833 出願人：三菱電機株式会社

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